往復式真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵使用往復式或旋轉活塞吸入、壓縮和排出氣體。它的優點是剛投入使用的泵真空度比較高，但活塞是運動部件，所以活塞磨損是不可避免的。隨著檢查次數的增加，工作間隙會不斷縮小，直至無法滿足生產要求。這類泵運行噪音大、油耗高、故障率高，也是致命的不足。一般需要開一個更換，無形中增加了設備的投資和運行成本。此外，如果這種類型的泵用于泵送水蒸氣等可冷凝氣體，它會使潤滑油乳化。因此，它只能用于泵送不可凝氣體(空氣)，不能用于泵送顆粒。用顆粒也限制了它的應用范圍。
水環真空泵是以安裝在泵殼內的帶有多個葉片的偏心轉子旋轉，將水拋入泵殼內形成與泵殼同心的水環。水環和轉子葉片形成體積的周期性變化以吸入氣體、壓縮和排出。它的優點是可以直接在低真空下泵送蒸汽等可凝性氣體。其缺點是真空度低;不能吸出顆粒狀介質;轉子在高速旋轉時不易進行防腐處理，因此不能吸入腐蝕性介質。