真空熱處理被當代熱處理界稱為高效、節能、無污染的清潔熱處理。真空熱處理零件具有不氧化、不脫碳、不脫氣、不脫脂、表面質量好、變形小、綜合力學性能高、可靠性好(重復性好、壽命穩定)等一系列優點。因此，真空熱處理在國內外得到了廣泛的重視和應用。并將真空熱處理的普及程度作為衡量一個國家熱處理技術水平的重要標志。真空熱處理技術是近四十年來熱處理技術發展的熱點，也是先進制造技術的重要領域。在這里，我們將告訴您在用真空對真空泵進行熱處理時應該注意的幾點：
一、當用真空泵處理鈦合金時，不應使用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮氣會在高溫下反應生成金氮化鈦。
二、真空泵的活動連接部分用O型橡膠圈密封，該部分用水冷卻。
三、真空泵工件在真空中淬火，應使用真空淬火油，這種油具有較低的飽和蒸汽壓。
四、真空爐的維護應處于真空或純氮氣狀態，防止不使用時吸入水分。
五、國內真空爐壓力上升速率應不超過1.33帕/小時，國外一些企業規格為0.67帕/小時
六、真空加熱以輻射為主，工件應堅持在爐內的間距。
七、在真空泵加熱工件的過程中，爐內數據會放氣，使真空度下降。
八、真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效的加熱溫度一般與常規處理相同。
九、真空回火爐應有快速冷卻裝置。冷卻水的壓力應大于0.2兆帕流量，并應可調。
十.冷卻氣體：鋼一般用純度為99.995%的氮氣，高溫合金用純度為99.999%的氮氣或氬氣，鈦合金用純度為99.995%的氬氣。
十一、真空泵進入工件后，普通預熱前預抽至6.67帕。