干式真空泵的應用往往有許多不同的常見故障。干式真空泵的氣蝕現象會造成機械設備振動、效率降低和零件損壞等安全隱患。這種情況是如何造成的，我們應該如何處理?
1.切削液在干式真空泵的泵腔內產生氣泡后，氣泡會在收縮的整個過程中破裂，水環泵的金屬表層會在氣泡產生和破裂的整個過程中受到一定程度的損傷，導致氣蝕破壞。氣泡產生或破裂位置的金屬表層，如呼吸端和狹窄區域，會產生縫隙腐蝕，甚至蜂窩狀破壞。
干式真空泵的損壞主要是由氣蝕造成的。據調查，50%的機械泵損壞與汽蝕因素有關，主要表現為離心葉輪裂紋和軸承端蓋孔，危及系統軟件的順利運行。因此，如何防止汽蝕是保證可靠運行的關鍵工作，我們必須在設計過程中給予高度重視，進行預防。
2.在整個工作過程中，泵送系統軟件與吸入區的工作壓力一致，切削液在特定溫度下具有一定的飽和蒸汽壓。當吸入區的工作壓力與切削液的飽和蒸汽壓相近時，切削液傾向于氣化，吸入區液體的表層會產生氣泡，占據泵室的室內空間，降低干式真空泵系統軟件的呼吸工作能力，減少泵送氣體的量。因為溫度越低，切削液的飽和蒸汽壓越低，并且泵腔中的工作壓力越接近切削液的飽和蒸汽壓，切削液就越容易在氣泡中產生氣穴現象。因此，選擇合適的切削液溫度尤為重要。5千帕以下18時工作中點處于安全區域，26時會出現氣穴現象，這是整個設計方案和應用過程中必須注意的。
在處理干式真空泵的氣蝕問題時，除了上述預防方法外，干式真空泵的氣蝕也必須從制造時的設計方案開始，嚴格遵循制造時的加工工藝，此外，客戶必須更加注意其維護。