真空泵是一個量大范圍廣的商品,生產量挺大,年產值不高,但它的確是一個立即危害到真空機械設備特性品質的不可或缺的基本商品。真空泵從高/超真空到粗/低真空,其商品大概可分14大類:
高/超真空——低溫泵、分子泵、無心插柳離子泵、鈦升化泵、擴散泵。
中真空——干泵、雙極旋片泵、羅茨泵、油增壓水泵、水蒸汽噴射泵。
粗/低真空——單極旋片泵、滑閥泵、液環泵、往復真空泵。
真空泵的銷售市場依據客戶的必須而產生變化規律。銷售市場提高的關鍵推動力來自于半導體材料工業生產的快速發展趨勢及其干泵和分子泵主要用途的日漸擴張。
現階段,全世界真空泵銷售市場的年銷量約20億美金,增長率在7%上下。
在我國生產制造真空泵的生產廠家許多,所有真空泵的年銷量大概在1、五億元上下(2016年),僅等于英國Kinney企業一家真空泵的年銷量。根據對全世界真空泵銷售市場的剖析我們可以看得出,各種真空泵的銷售市場及主要用途都會持續轉變和發展趨勢。在我國真空泵加工制造業擁有悠久的歷史和深厚的基本,國內真泵早已在每個不一樣行業獲得運用并歷經認證,一些泵還出入口海外,獲得海外客戶的認同并表示滿意,應當說在我國真空泵加工制造業在世界各國銷售市場依然擁有極大的發展趨勢室內空間。

1、液環泵
盡管液環泵歸屬于粗真空泵,但在中國的原油、化工廠、電力工程、輕工、造紙工業、藥業等行業依然擁有挺大的銷售市場。國外,液環泵的銷售總額占所有真空泵銷售市場的14%,僅次干泵,因此Nash、Seimems和Kinney等企業都會在我國投資辦廠或創建營銷網絡,不斷發展在中國的市場占有率。因為液環泵絕大多數是鑄造件,生產加工規定都不高,屬勞動密集商品,因此國內液環泵在價錢上帶核心競爭力,關鍵是要改善設計方案,變小容積,緩解凈重,提高工作效率,減少耗能。
2、滑閥泵
因為滑閥泵較為經久耐用、靠譜,世界各國各種各樣真空爐、鍍膜機及其干躁、預浸等機器設備全是用滑閥泵做為前面泵,可是滑閥泵鑄造件重,生產加工勞動量很大,因此海外各真空廠都在我國找尋合作方。以便使國內滑閥泵可以進到國外市場,務必進一步減少泵的震動噪音,避免油泵和滲油,提升滑閥泵長期性運作的可信性。
3、直聯旋片泵
伴隨著真空技術性在每個主要用途的不斷發展,直聯旋片泵的需要量越來越大。因為這類泵總數許多,生產加工裝配線勞動量挺大,價錢非常低,因此有的海外真空生產商在我國創建專業廠。國內大中小型直聯旋片泵從技術上早已通關,價錢又遠比海外的泵劃算,因此國內泵依然有核心競爭力,關鍵是要處理水泵密封滲油及其旋片原材料和真空泵油的特性產品質量問題,保證直聯泵在髙速、高溫下特性平穩和運作靠譜,另外也要進一步提高國內直聯旋片泵抽除水蒸汽的工作能力。
4、羅茨泵
從海外羅茨泵生產制造狀況看來,海外幾個大企業,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,她們每家羅茨泵的銷售總額占全世界羅茨泵銷售總額的占比都沒超出5%,這5家累計才20%,羅茨泵生產量并不大,但海外羅茨泵的價錢遠比國內泵要高得多。現階段,世界各國基本上全部大中型或中小型的高真空中和真空系統軟件,以便減少抽真空時間、提升生產率都裝有羅茨泵,因此國內羅茨泵一定要在攻占中國銷售市場基本上想方設法進到國外市場,那樣就務必進一步減少國內羅茨泵的震動噪音,徹底消除水泵密封滲油難題,改善泵的外型品質,提升泵內的光滑度和潔凈度。此外,也要充分考慮一些國家和地區的開關電源頻率為60Hz,更要保證羅茨泵在提升轉速比的狀況下長期性運作的可信性。
現階段,中國氣冷式直排空氣羅茨泵進度迅速,技術性上早已完善。因為這類泵在出氣口的下邊配有汽體冷卻塔,在其中一部分被制冷的汽體根據管路回到泵腔以制冷電機轉子,進而使縮小熱得均衡,因此這類泵能夠
直接排放空氣。以便考慮不一樣極限真空度的規定,這類泵能夠
串連應用,一般前邊加一臺氣冷式直排空氣羅茨泵,所做到的極限真空要比前面泵高一個量級。這類泵因為在泵腔內沒有工作物質,事實上也是歸屬于干泵。現階段,這類氣冷式直排空氣羅茨泵及發電機組早已在原油、化工廠、塑膠、化肥、汽輪發電機動平衡設備。

5、分子泵
分子泵國外半導體材料行業里的很多加工工藝場所是用于替代低溫泵,尤其是無心插柳、刻蝕和LCVD等設備都彩復合型分子泵和牽引帶泵做為主閥。
因為分子泵對水蒸汽的泵效僅為同口徑低溫泵泵效的四分之一,因此分子泵的排氣管時間比低溫泵長。以便提升泵效,海外在分子泵的通道頂裝一個-130℃~-150℃的超低溫冷軋鋼板,稱作超低溫分子泵,水蒸氣被超低溫板捕捉,別的汽體則由分子泵吸走。這類超低溫分子泵在真空表層的鍍膜設備上運用,既提升了生產率又改進了膜層品質。伴隨著在我國半導體材料工業生產、塑料薄膜產業鏈和科研工作快速發展趨勢,分子泵應該是在我國真空泵加工制造業發展趨勢的重中之重。最先,分子泵要由小到大創建詳細系列產品,并科學研究開發設計各種各樣復合型分子泵、牽引帶泵和超低溫分子泵,以考慮不一樣場所的必須。
6、干泵
海外干泵銷售市場的持續提高,其關鍵驅動器來自于半導體業、化工、塑料薄膜產業鏈的快速發展趨勢。去日本,半導體業已所有用干試真空泵替代骨架密封式機械泵,毆美半導體業45%之上用干試真空泵替代了骨架密封式機械泵,進一步提高了商品的特性和品質。以便考慮不一樣主要用途和不一樣工作狀況的規定,海外有多級別羅次真空泵、多級別爪式真空泵、風冷式真空泵、渦旋式真空泵、往復活塞桿真空泵及其增壓式無油漬真空泵等。極限工作壓力從10Pa~10-2Pa,泵效從50m3/h~1000m3/h。據調查,現階段國內干泵的運用還不夠1%,中國半導體材料工業級的干泵所有從海外進口,其價錢十分價格昂貴。因此,在我國應全力科學研究開發設計干泵,使干泵變成在我國真空工業生產新的經濟發展突破點。