羅茨真空泵(稱為羅茨真空泵)是旋轉變量真空泵。它是從羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵的工作范圍，將其分為具有直排氣環境的低真空羅茨真空泵，中真空羅茨真空泵(也稱為機械增壓泵)和高真空多級羅茨真空泵。
羅茨真空泵的功能特點
1、在很寬的壓力范圍內具有很高的抽速;
2、快速啟動，可以立即工作;
3、對泵送氣體中包含的灰塵和水蒸氣不敏感;
4、 轉子泵室內無潤滑，無油;
5、低振動，轉子良好的動平衡條件，無排氣門;
6、驅動力小，機械摩擦損失小;
7、結構緊湊，占地面積小;
8、較低的運營和維護成本。
因此，羅茨真空泵廣泛用于冶金，石化，造紙，食品和電子行業。
羅茨真空泵的工作原理
在泵室中，兩個“
8”形的轉子s彼此垂直安裝在一對平行軸上，一對傳動比為1的齒輪帶以相反的同步旋轉運動運行。在轉子和轉子之間，轉子和泵殼的內壁之間有一定的間隙，以實現高速運行。由于羅茨真空泵是沒有內部壓縮的真空泵，因此壓縮率通常很低，因此高真空泵和中真空泵需要前級泵。
羅茨真空泵的極限真空度取決于泵本身的結構和制造精度以及前級泵的極限真空度。為了提高泵的極限真空度，可以串聯使用羅茨真空泵。
羅茨真空泵的工作方式類似于羅茨鼓風機。由于轉子的連續旋轉，泵送的氣體從進氣口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0，然后通過排氣口排出。由于v0空間在吸入后完全封閉，因此氣體不會在泵室內壓縮和膨脹。但是，當轉子的頂部翻過排氣口的邊緣并且v0空間與排氣側連通時，由于排氣側較高的氣壓，一部分氣體返回到空間v0，這樣氣壓突然變成增高
。當轉子繼續旋轉時，氣體離開泵。
羅茨真空泵轉子從0°到180°的抽吸過程。在0°位置，下部轉子封閉了來自泵進口的v0體積的氣體。當旋轉至45°位置時，腔室與排氣口連通。由于排氣側的高壓，一部分氣體返回。當轉到90°位置時，由轉子包圍的氣體將與返回的氣體一起排放到泵的外部。此時，上部轉子還密封了來自泵入口的v0體積的氣體。當轉子繼續達到135°時，由轉子封閉的氣體將連接到排氣口，并重復上述過程。
180°位置與0°位置相同。
轉子在主軸旋轉一圈時，總共排出了四個v0體積的氣體。