1909年發明了旋片式真空泵，并于1936年發明了氣鎮泵。1941年，旋片式真空泵得到了廣泛的應用和不斷的改進。在20世紀60年代后期，國際上出現了提高速度和直接聯系的趨勢。在20世紀70年代早期，出現了一系列直連產品。在20世紀80年代早期，推出了一系列改進的產品，并為用戶提供了多種選擇。附件可以保護泵或保護環境，并且泵本身的結構得到改進，以提高可靠性。? ?
在旋片真空泵的結構中，為了在泵停止時防止回油，一些設置有能夠自動切斷油路的止回閥，并且一些設置有進氣通道截止閥，并且一些用于打開泵。當城鎮突然運行時，氣路自動切斷，使泵口保持真空狀態，并提供油泵和控制結構。在配件方面，有除霧器，氣味過濾器，用于阻擋碎片的人口過濾器，如碎玻璃，灰塵過濾器，蒸汽冷凝水箱，化學捕集器和控制泵溫度，以提高水蒸氣去除率并保護泵。溫控水量控制閥。在20世紀80年代末和90年代初期，推出了一種油過濾器，一種能夠監測油溫，油壓，油質等的電子顯示器，甚至可以連接計算機進行自動控制，使用強制潤滑和空氣冷卻制造泵連續工作入口壓力為10 kPa甚至更高，因此同一泵的應用范圍更大。
雙級旋片式真空泵，可廣泛應用于冰箱，空調，燈泡，熒光燈，瓶襯生產及電子，冶金，醫藥，化工，油過濾器，印刷機械，包裝機械等行業，均可使用作為擴散泵，羅茨泵和分子泵用于支持和實驗研究應用，如電子儀器和醫療儀器。由于直接耦合泵不會因皮帶摩擦而產生粉塵污染，因其體積小，重量輕，節省材料，功能完善而得到廣泛應用。
噪音的原因和減少措施
旋片真空泵的噪音通常是指當溫度穩定時，泵在極端真空下測量的噪音水平。它包括泵本身的噪音和電機的噪音。它還關注啟動階段的噪音，當泵溫度不穩定時，不同入口壓力下的噪音，以及開放天然氣鎮運行期間的噪音。因此。有許多因素需要考慮。? ?
就聲音的位置而言，真空泵的噪音具有以下可能的方面：
（1）旋片對氣缸的影響，泵的剩余容積和排氣死區內的壓力油的聲音;
（2）排氣閥板對閥座和支撐件的沖擊;
（3）盒子里的回聲和泡沫破裂;
（4）軸承噪音;
（5）大量油氣沖擊導油板引起的噪聲;
（6）其他。如變速器引起的噪音，風冷泵的風扇噪音等。
（7）電機噪聲，這是一個關鍵因素。