真空機組的高頻放電是在兩個電極之間存在交替的高頻電場時發生的放電形式。當在放電管的兩端施加交流電壓時，氣體中的電子和正離子將在交流電場的作用下產生額外的共振。因為正離子的質量比電子的質量大得多，所以共振幅度非常小。
當真空泵的頻率較低且共振振動的幅度遠大于兩極之間的距離時，電子在每個半周期內經歷崩潰，放電和熄滅的整個過程。此時的放電情況與DC情況相同。當頻率更高時，共振振動的幅度遠小于兩極之間的距離，隨著電子的繼續來回移動，其電離能力將大大提高。因為電子共振的幅度非常小，所以進入電極的電子數量將大大減少。
由于電子的擴散速度快于離子，因此擴散的結果是，在軸上出現正電勢，在管壁上出現負電勢，這又產生了一個由軸指向的靜電場。管壁。因此，放電管中有兩種類型的電場，一種是圍繞磁場線的渦旋電場，另一種是從軸指向管壁的靜電場。在這兩個電場的同時作用下，電子圍繞著軸移動，同時向著管壁膨脹，從而形成了一系列同心環。由于不同半徑的電子的能量不同，所以能級和激發量也不同，因此具有不同半徑的光環具有不同的顏色。
簡而言之，干式真空泵中的高頻放電實際上意味著電子繼續來回移動，并且電離能力得到增強。此功能可以減少設備的功耗并節省電費，從而節省使用成本并降低電路成本。