一、真空泵配件有：
1.油霧過濾器(別名：精密分離器、排氣過濾器、排氣過濾器)
真空泵油霧分離器是通過位于一側的空氣油混合物中的真空泵油霧分離器的濾紙及棉質。 油被說唱樂，實現了瓦斯氣體和真空油的分離操作。
過濾后的真空泵油與回油管一起循環利用，排出的是無油排氣瓦斯氣體，無污染，效果良好。
2.空氣過濾網(別名：空氣過濾網)
真空泵折動的間隙小，如果外部介質含有顆粒、污垢，則折動面被破壞，泵的折動面被切斷或堵塞，泵無法正常工作。
為了防止異物被人泵吸入，有必要使用過濾煙嘴防止異物進入人泵。
萬一空氣雜質未被過濾除去時，進入泵內油管堵塞，潤滑油可能混入，因此選擇空氣過濾煙嘴時，原則上必須選擇正品。
后期維護和維護：請定期清潔使用真空泵的空氣過濾網，以避免發生滯留在過濾器中的雜質吸入泵內而使泵粘著等現象。
3.機油過濾器(別名：機油格柵)
油柵又稱油過濾煙嘴，真空泵油過濾煙嘴是配置了許多進口真空泵布蘭德的油過濾煙嘴裝置，設置于泵回油管路，主要用途是捕獲回油罐中產生或侵入系統內的污染物，也是控制系統污染濃度的重要過濾裝置。
二、真空泵配件常見的失效情況
1.磨損
磨損是真空泵附件常見的故障模式，在潤滑條件下，是零配件之間接觸面的摩擦磨損，多發生于齒輪、汽缸葉片、轉子平面軸承、滾動軸承。
這樣的磨損速度很慢，磨損故障主要與潤滑、密封條件有關。
另一個是在無潤滑條件下，由于零配件之間的摩擦，或者材料在零配件表面的摩擦而產生的磨損，在真空泵中尤為顯著。 例如，聯軸器、2X泵的皮帶輪、螺桿真空泵的雙軸等。
這種磨損速度比前者快得多，主要關系到金屬材料的性能和材料的性質。 在油式真空泵中，潤滑中的磨損特別明顯，多由于真空泵的油變質、異物引起的潤滑不良。
二、疲勞破壞
疲勞是破壞反應歷程，龜裂發生是破壞模式。 這些個常常最終導致零配件斷裂。 這種疲勞破壞故障的過程存在于承受交變載荷的齒部件上。
常見于連接螺栓、錨固件螺栓、彈簧等零配件，也發生于齒輪傳動軸等重要零配件。 與疲勞斷裂相關的因素很多，需要具體分析故障零配件，查明原因，采取對策。
3.變形
變形也是真空泵零配件常見的故障模式。 因為泵在高速運轉時會產生一定的高溫。 外殼和板材等總是處于受熱狀態，最容易發生。
階段性產生的塑性形變無法恢復零配件本來的幾何尺寸和形狀，嚴重時會導致設備故障。 例如，密封圈、油封等。
4、腐蝕
腐蝕是真空泵零配件故障的另一種方式。 在工藝復雜的PCB、化工等情況下運行的真空泵中常見。
這些個的零配件都是消耗性易耗品，如果是這些個，則需要交換零配件。 真空泵故障時，進行故障排除處理，確認其零配件故障后，對上述問題采取相應的解決辦法。
為了稍微延長這個設備的壽命，有必要定期進行維護，減少故障的發生頻率。