螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員，出現于上世紀90年代前后，發展緩慢。 但是，作為理想的干式泵，螺桿真空泵問世后，得到了迅速的發展。 現在就來理解一下小編和基本知識吧!

　　一、螺桿真空泵特點

　　螺桿真空泵起源于螺桿式壓縮機和螺桿式液體輸送泵，是容積式真空泵中理想的干式真空泵。 由于能夠清潔無油真空環境，對含有腐蝕性氣體、凝縮性蒸汽、粉塵粒子的氣體有很強的適應性，在電子半導體、制藥、石油化學等清潔真空環境的要求嚴格、氣體成分復雜的行業中，螺桿真空泵受到歡迎，是傳統的油封機械泵、液體環泵的模型

　　螺桿真空泵通過一對非對稱螺桿轉子的相對運動，周期性地改變齒間容積來輸送氣體，實現抽出的目的。 這些特征包括：

　　1、清潔無油，多相混輸，適應性廣。 螺桿真空泵轉子之間有嚴格的間隙，泵室內無油，能吸入腐蝕性氣體、有毒及粉塵、凝結性蒸汽等復雜氣體。

　　2、結構簡單，動平衡好，可靠性高。 螺桿真空泵零件少，核心零件沒有易損件，沒有不平衡慣性力，運轉可靠，壽命長。

　　3 .結構簡單，零件少，操作、維護簡單。

　　4、強制輸送空氣，能在大壓力范圍內保證大的吸引速度，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　二、螺桿真空泵的結構

　　螺桿真空泵一般為雙軸結構。 螺桿真空泵是經由一對非對稱螺桿轉子在泵室同步、高速反轉，使齒間容積周期性地變化而產生進氣和排氣作用的排氣設備。

　　其主要結構有螺桿轉子、軸承、泵體、密封件等。 螺桿轉子經精密動平衡校正，支承在軸承上，安裝在泵室，螺桿與螺桿之間保持著嚴格的一定間隙。 泵工作時，彼此沒有摩擦，工作順利，噪音低，室內不需要潤滑油。 因此，螺桿真空泵在能夠吸引含有大量水蒸氣和粉塵的氣體的情況下具有極限真空高、功耗低、節能、免維護等優點。

　　螺桿真空泵主要結構

　　從上圖可以看出，螺桿真空泵在結構上很簡單。 形式上，根據螺桿真空泵有臥式和立式區別的螺桿轉子型生產線，分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵。單頭螺桿真空泵根據轉子的間距，等間距螺桿。

　　多頭型線可以在一個導線內完成進氣、壓縮、排氣的過程，導線少，能有效減少泵的體積和重量，適用于大吸引速度區域，但其型線復雜，需要特殊工具和專用機床，加工費用高，而且由于三角泄漏的原因，真空度不高，所以在市場上

　　單頭型生產線適用于小型螺桿真空泵，市場上單頭式真空泵也很多。 其中等間距螺桿真空泵室內沒有壓縮，可以簡單地排出固體粒子和凝縮性氣體，但排氣溫度和能量消耗度高的可變間距螺桿真空泵室內有壓縮，排氣溫度低，能量消耗低，但對粉塵粒子和凝縮性氣體的耐性等間距差。

　　三、螺桿真空泵的工作原理

　　由于是由螺桿式壓縮機產生的，所以螺桿真空泵的工作原理也與螺桿式壓縮機相似。 我們用近似的多線描述。

　　1 .進氣過程

　　a .進氣過程開始

　　b .進氣中

　　c .進氣過程結束

　　2 .壓縮過程

　　a .壓縮過程開始

　　b .正在壓縮

　　c .壓縮過程結束排氣開始

　　3 .排氣過程

　　a、排氣中b、排氣中結束

　　螺桿真空泵的排氣過程。 齒間容積與排氣口連通后，排氣過程開始。 隨著齒間容積的縮小，有排氣壓力的氣體通過排氣口排出。

　　四、螺桿真空泵的應用

　　螺桿真空泵不僅適應性寬，而且能在苛刻的條件下排氣，同時能實現高真空度(0.1~1Pa )。 因此，隨著半導體、石油化學行業的迅速發展，螺桿真空泵作為理想的干式泵開始廣泛應用于電子半導體、醫藥化學工業領域，如半導體行業的蒸鍍、蝕刻、醫藥化學工業行業的蒸餾干燥、中間體、溶劑回收、石油氣回收等。

　　由于型線技術和加工成本，螺桿真空泵廠家的購買費用比較高，但從長期來看，其寬度適應、高效節能環保特性和低故障修理率，在運行周期內能給企業帶來較高的綜合利益和社會環境利益，使用的更廣泛性是未來的趨勢。