干式螺桿真空泵是一種利用一對螺桿在泵殼內同步高速反轉產生吸排氣效果的真空泵設備。干式螺桿真空泵的工作原理是：利用齒輪傳動同步反向旋轉，相互嚙合，不接觸左、右螺桿高速旋轉;利用泵殼和嚙合螺旋槳的螺旋槽分成多個空間，形成多個級;氣體在相等的凹槽中輸送，但不被壓縮;只有螺桿末端的螺桿結構對氣體有壓縮作用，最終形成真空。
一、干式螺桿真空泵的優勢
工作時，干式螺桿真空泵之間沒有摩擦，運行相對穩定，噪音相對較低，工作腔內不需要潤滑油。因此，干式螺桿真空泵可以抽出含有大量水蒸氣和少量粉塵的氣體，具有極限真空度高、功耗低、節能、免維護等優點。它是油封真空泵的升級版本。
二。干式螺桿真空泵的工作原理
干式螺桿真空泵的工作原理主要是利用齒輪傳動同步反轉嚙合但不接觸的左螺桿和右螺桿高速旋轉。泵殼和螺旋槳的相互嚙合的螺旋槽用于分成多個空間并形成多個級。氣體在沒有壓縮的情況下在相等的凹槽中傳輸。只有螺桿末端的螺桿結構具有壓縮氣體的效果。可以在螺桿的所有階段之間形成壓力梯度，以分散壓力差并提高壓縮比。各部件之間的間隙和泵速對泵的性能有很大影響。在設計螺紋零件之間的間隙時，應考慮膨脹、加工和裝配精度以及工作環境。像羅茨真空泵，干式螺桿真空泵沒有排氣閥。
三、干式螺桿真空泵的結構原理
干式螺桿真空泵為立式結構，進氣口在上方，出氣口在中間，電機和潤滑油池在下方。螺桿轉子是中空的，并且具有懸臂支撐結構。同步傳動齒輪位于軸承支架下方。變頻電機通過聯軸器與主動轉子連接，泵的氣路短，立式結構更有利于去除含有微塵的氣體。泵殼由水冷卻，維護方便。如果干式螺桿真空泵選擇一個相對簡單的螺旋齒廓截面，其優點是制造簡單，加工精度高，易于動平衡。根據其工作原理，我們可以清楚地認識到干式螺桿真空泵具有高真空極限、低功耗、節能、免維護等優點。