真空泵是一種真空獲取設備，它可以利用物理、化學或機械方法從容器中抽取空氣，以獲得和改善真空環境。真空泵種類繁多，在我國許多工業領域都有應用。本文重點介紹了真空泵的分類以及幾種常見真空泵的性能、優缺點，并分析了我國真空泵產品的發展趨勢。

　　真空的意義

　　17世紀，意大利物理學家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指給定空間內氣壓低于一個大氣壓的氣體狀態，沒有氣體的狀態稱為絕對真空。一般來說，我們指的是相對真空，也就是說，在真空技術中，每立方米氣體中仍有幾個氣體分子。通常，“真空度”和“壓力”用來表示真空度。一定空間內的壓力越低，真空度越高，壓力越高，真空度越低。根據各壓力范圍內不同的物理特性，真空一般分為粗真空、低真空、高真空和超高真空區。

　　真空泵的分類

　　自20世紀初以來，真空技術不斷發展，真空設備種類越來越多，應用領域逐漸擴大。根據真空泵的工作原理，它可分為兩種基本類型:輸氣泵和集氣泵。輸氣泵主要是通過不斷地吸入和排出氣體來達到抽氣的目的。氣體捕集泵通過允許氣體分子在泵的內表面上被吸附或冷凝來減少容器中氣體分子的數量，以達到抽氣的目的。

　　幾種常見的工業真空泵及其發展趨勢

　　1.水環真空泵是一種可變容積泵，可清除易燃、易爆和腐蝕性氣體以及含有灰塵和濕氣的氣體。該真空泵具有結構簡單、易于維護、磨損小、安全性高、對輸送的氣體無污染等優點，但也存在效率低、真空度低(真空差)的缺點。水環泵的主要原材料是鑄件，鑄件易于加工，是勞動密集型產品。因此，國產產品比進口泵有價格優勢，目前被廣泛使用。目前，國內液環泵制造商應主要從減輕重量、減小體積、降低能耗和提高效率方面改進產品。

　　2.旋片真空泵是最基本的真空獲取設備之一。它是一種油封式機械真空泵，適用于真空包裝、真空成型、真空抽吸等封閉系統的抽氣。但是，它不能用于去除氧氣含量高、對金屬有腐蝕性、與泵油發生化學反應、含有顆粒灰塵、水或其他液體的氣體。旋轉葉片泵具有體積小、重量輕、噪音低等優點，可以獲得較高的真空度。國產旋片泵已達到技術標準，價格遠低于進口泵，具有一定的競爭優勢。目前，旋葉泵需要解決的問題主要是旋葉材料、軸封漏油等。以及能夠去除水蒸氣的旋轉葉片泵的開發。

　　3.滑閥真空泵屬于油封式變容真空泵，可用于抽取一般氣體或含有少量凝析油。與旋轉葉片泵相比，滑閥真空泵具有能在高壓(104帕)下工作、抽氣能力大、能在惡劣工作條件下使用和經久耐用的優點。主要應用于真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等。滑閥泵鑄件重，加工工作量大，因此許多國外生產企業希望與國內真空泵企業合作。為了加快替代進口，國內滑閥泵需要在降低振動噪聲、防止噴油和漏油方面優化產品。

　　4.羅茨真空泵具有啟動快、功耗低、泵速高等優點。它能抽出含有水蒸氣和灰塵的氣體，并能迅速抽出突然釋放的氣體。使用羅茨泵可以減少泵送時間，提高生產效率。

　　5.干式螺桿真空泵是一種較新的真空獲取設備，具有可靠性高、使用壽命長、動平衡性能好、適應性強、多相混合輸送等特點。它能去除腐蝕性、毒性、含塵氣體、可冷凝蒸汽和其他氣體。干式泵有廣泛的應用。代表性行業包括半導體工業、化學工業和電影工業。這三個行業的需求是干式泵市場的主要驅動力。大約一半的半導體工業使用干式真空泵代替油封機械泵。目前，國內干式真空泵很少使用，市場份額不到1%。中國半導體行業主要使用進口干式泵。因此，應加大國產干式真空泵的研發力度，使干式真空泵成為中國真空產業新的經濟增長點。