2021
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干式真空泵主要在半導體行業、化學工業、薄膜產業得到應用與發展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導體行業45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產品的性能和質量?! 榱藵M足不同應用領域和不同工況的要求,國外有螺桿式真空泵、多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、往復式活塞真空泵、渦旋式真空泵以及渦輪式無油真空泵等。干泵極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h?! ?、干式真空泵的介紹及原理 此為立式雙螺桿干式真空泵,它的吸氣和排氣原理和大多數是一樣的,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備?! 「墒秸婵毡霉ぷ鲿r,相互之間無摩擦,運轉平穩,噪音低,工作腔無需潤滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵。由于螺桿制成變螺距結構,與等螺距結構相比,極限真空更高,而消耗功率更低,具有節能,免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品?! 淦穫浼菢藴实腛型圈。從上至下的輸送方式能可靠地處理夾帶液體的濕氣及粉塵,并且無需過濾器。最優化的螺桿外形設計使功率消耗降到最低,簡單的設計可使泵腔在1小時內在現場全部解體,易于清洗維護。 2、獨特的冷卻方式 很多泵轉子卡死的原因是吸入含有粉塵及結晶的物質、高溫發生聚合的物質、熱敏性物質的升華造成轉子間的間...