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2020
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在干式真空泵的應(yīng)用過(guò)程中，特別是在一些半導(dǎo)體應(yīng)用中，很難避免氣體成分中含有顆粒介質(zhì)。盡管干式真空泵如螺旋真空泵對(duì)顆粒介質(zhì)有一定的耐受性，但仍需采取措施減少顆粒物質(zhì)的產(chǎn)生和混合。 一般來(lái)說(shuō)，干式真空泵中有三種顆粒，其中最簡(jiǎn)單的是泵送過(guò)程中混合的顆粒，其次是泵內(nèi)壓力升高引起的氣固相變形成的產(chǎn)物，另一種是泵內(nèi)反應(yīng)氣體產(chǎn)生的產(chǎn)物。 鑒于這些情況，為了減少真空泵中顆粒物質(zhì)的出現(xiàn)，除了必要的泵前過(guò)濾和分離之外，可以采取以下措施來(lái)防止泵中活性顆粒物質(zhì)的出現(xiàn): 第一是適當(dāng)提高泵的溫度，以避免氣固相變。物質(zhì)升華和凝固過(guò)程中壓力和溫度的作用因物質(zhì)而異。調(diào)節(jié)干式真空泵的溫度可以避免氣固相變過(guò)程的發(fā)生。例如，三氯化鋁將在鋁蝕刻過(guò)程中產(chǎn)生。當(dāng)溫度高于80℃時(shí)，三氯化鋁會(huì)揮發(fā)而不沉積。 第二是降低參與化學(xué)反應(yīng)的氣體濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反應(yīng)產(chǎn)物的數(shù)量指數(shù)與反應(yīng)氣體的濃度有關(guān)，因此在生產(chǎn)過(guò)程中充入惰性氣體和降低反應(yīng)氣體的濃度是減少泵內(nèi)顆粒物產(chǎn)生的有效方法。通常，在這種干式真空泵壓縮氣體之前需要引入惰性氣體。同時(shí)，在一些工藝過(guò)程中，引入惰性氣體來(lái)降低反應(yīng)氣體的濃度也有助于避免爆炸事故的發(fā)生。 第三是增加吸氣通道中的氣流速度。對(duì)于真空泵中出現(xiàn)的不可避免的顆粒，為了防止其沉積并盡快排出，必須使氣流速度大于顆粒沉積的臨界速度，以保證顆粒的氣動(dòng)輸送。此時(shí)，有必要盡早向泵中充入適量的氣體，以使氣體流速大于臨界顆粒沉...
2020
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03
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04
一，在選擇真空泵時(shí)，確定的產(chǎn)品應(yīng)確保過(guò)程中釋放的各種氣體能夠順利抽出。在真空泵的應(yīng)用過(guò)程中，有多種氣體介質(zhì)，如易燃、易爆、易冷凝、易反轉(zhuǎn)、易腐蝕等。所選真空泵必須確保其適用性。例如，在該過(guò)程中將產(chǎn)生大量的水蒸氣，并且所選擇的真空泵必須適合于水蒸氣提取。 二，真空泵的極限真空度必須高于工藝生產(chǎn)所需的真空度，至少高一個(gè)數(shù)量級(jí)，并且設(shè)備適合在所需的工作真空度范圍內(nèi)工作。真空泵的極限真空度是泵速為零時(shí)能達(dá)到的真空度。因此，為了確保真空泵的抽吸速度在工作真空度內(nèi)，必須滿足其極限真空度大于工作真空度，并且在該區(qū)間內(nèi)需要較大的抽吸速度。 三，真空泵的泵送速度應(yīng)大于過(guò)程中的最大排量。為了保證真空度，如果真空泵的選型涉及到過(guò)程中的連續(xù)放氣，真空泵或真空系統(tǒng)的抽氣速度應(yīng)大于過(guò)程中的最大放氣速度。如果系統(tǒng)配有冷阱或擋板，添加阱或擋板后的有效泵送速度應(yīng)大于過(guò)程中的最大氣體釋放量。如果在此過(guò)程中突然出現(xiàn)大量氣體釋放，系統(tǒng)的有效泵送速度應(yīng)適當(dāng)增加，通常為最大氣體釋放量的2-3倍。 四、真空泵的選擇，真空泵工作介質(zhì)和制造材料的選擇必須符合工藝要求。適用于真空泵應(yīng)用，尤其是在醫(yī)藥、化工、電池等領(lǐng)域。提取的介質(zhì)往往是腐蝕性氣體，這就要求設(shè)備有相應(yīng)的防腐措施。例如，酸性和堿性氣體需要有相應(yīng)的防腐涂層，或者泵的材質(zhì)改為不銹鋼，以防止腐蝕;對(duì)于含有灰塵或顆粒的氣體，應(yīng)在泵入口等之前添加除塵器、過(guò)濾器或泵本身。 五...
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07
真空泵是指使用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法對(duì)泵送容器進(jìn)行抽吸以獲得真空的裝置或設(shè)備。一般來(lái)說(shuō)，真空泵是一種使用各種方法來(lái)改善、產(chǎn)生和保持封閉空間內(nèi)真空的裝置。廣泛應(yīng)用于冶金、化工、食品、電子涂料等行業(yè)。 真空泵腐蝕相關(guān)知識(shí):由于生產(chǎn)和設(shè)備運(yùn)行環(huán)境的特殊性和復(fù)雜性，真空泵腐蝕、磨損和氣蝕是常見(jiàn)問(wèn)題，導(dǎo)致泵工作效率降低、結(jié)構(gòu)強(qiáng)度降低、振動(dòng)增加、漏油等問(wèn)題的發(fā)生。不僅影響企業(yè)的安全和持續(xù)運(yùn)行，而且對(duì)能源消耗也有特別大的影響。真空泵的腐蝕模式可分為兩種:整體(均勻)腐蝕和局部腐蝕。前者均勻地出現(xiàn)在真空泵的整個(gè)表面，而后者僅局部出現(xiàn)，如孔腐蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。 真空泵腐蝕修復(fù)材料:針對(duì)真空泵的腐蝕問(wèn)題，碳納米聚合物材料可用于修復(fù)或防腐。該材料因其優(yōu)異的耐腐蝕性、耐侵蝕性、耐氣蝕性、粘接性能和機(jī)械性能，在泵保護(hù)(腐蝕、氣蝕和侵蝕)方面取得了良好的應(yīng)用效果，且該技術(shù)操作簡(jiǎn)單、修復(fù)時(shí)間短、修復(fù)效率高、修復(fù)安全性高。不僅可以大大延長(zhǎng)設(shè)備的生命周期，還可以提高設(shè)備的運(yùn)行效率。現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于真空泵、脫硫泵、泥漿泵、泥漿泵、鹽泥泵等泵的維修和保護(hù)。值得一提的是，這種材料不僅可用于泵保護(hù)，還可用于金屬改造、防腐、泄漏處理、橡膠輸送帶劃痕修復(fù)、橡膠密封、混凝土修復(fù)等領(lǐng)域。 恒才機(jī)電真空泵廠家主要產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X-40、GVD系列旋片真空...
2020
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03
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11
什么是氣蝕? 當(dāng)泵內(nèi)液體的局部壓力降至臨界壓力時(shí)，液體中會(huì)產(chǎn)生氣泡。氣蝕是氣泡聚集、運(yùn)動(dòng)、分裂和消除的全過(guò)程。臨界壓力通常接近汽化壓力。 氣蝕的危害是什么? 過(guò)流部件腐蝕 腐蝕有兩個(gè)原因: 一是氣泡破裂時(shí)的高頻率(600 ~ 25000赫茲)沖擊和高達(dá)49兆帕的壓力造成金屬表面的機(jī)械剝蝕。 第二是由于蒸發(fā)過(guò)程中釋放的熱量和溫差電池作用引起的水解。產(chǎn)生的氧氣氧化金屬并引起化學(xué)腐蝕。 泵性能下降 當(dāng)泵發(fā)生氣蝕時(shí)，葉輪中的能量交換被干擾和破壞。外部特性顯示為Q-H曲線、Q-P和Q-η曲線線下下降。在嚴(yán)重的情況下，泵中的流量將被中斷，無(wú)法工作。 對(duì)于低比轉(zhuǎn)速，由于葉片空間流道又窄又長(zhǎng)，一旦發(fā)生氣穴現(xiàn)象，氣泡將充滿整個(gè)流道，性能曲線將突然下降。 對(duì)于中高特定速度，流道是短而寬的，因此氣泡需要從產(chǎn)生到發(fā)展到完全充滿流道的過(guò)渡過(guò)程。相應(yīng)的性能曲線開(kāi)始緩慢下降，然后在急劇下降之前增加到某個(gè)值流量。 在離心泵中最有可能發(fā)生氣蝕的地方 在葉輪曲率最大的前蓋板處，靠近葉片入口邊緣的低壓側(cè); 蝸形隔板舌的低壓側(cè)和擠壓室中入口邊緣附近的導(dǎo)葉; 葉尖外圓與無(wú)前蓋板的高比轉(zhuǎn)數(shù)葉輪殼體和葉尖低壓側(cè)之間的密封間隙; 多級(jí)泵中的第一級(jí)葉輪。 提高抗氣蝕能力的措施 1.提高離心泵抗氣蝕性能的措施 改進(jìn)從泵的吸入口到葉輪附近的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。增加流通面積;葉輪蓋板入口部分的曲率半徑增加，以減...
2020
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03
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小型真空泵也叫微型真空泵，因?yàn)樗w積小。小型真空泵(即微型真空泵)是指:它有一個(gè)吸嘴和一個(gè)排氣嘴，并能在入口處連續(xù)形成真空或負(fù)壓;排氣噴嘴處形成微正壓;工作介質(zhì)主要是氣體，是一種體積小的儀器。小型真空泵可用于空調(diào)、制冷設(shè)備維修、醫(yī)療設(shè)備抽吸裝置、印刷機(jī)械、真空包裝、真空抽吸、物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)以及需要真空環(huán)境和其他真空操作的小型裝置。應(yīng)用范圍涉及科學(xué)研究、氣體采樣、儀器儀表、化學(xué)分析、醫(yī)療保健、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、自動(dòng)控制、環(huán)境保護(hù)、水處理等許多領(lǐng)域。 小型真空泵不適合泵出腐蝕黑色金屬、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、含有微粒灰塵以及含有過(guò)多氧氣且具有爆炸性的有毒氣體的氣體。它不能用作輸送泵(即從一個(gè)容器泵到另一個(gè)容器)。 小型真空泵的電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)通過(guò)機(jī)械裝置使泵內(nèi)的隔膜做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而壓縮和拉伸泵腔內(nèi)的固定容積的空氣，形成真空(負(fù)壓)，在泵吸入口和外界大氣壓力之間產(chǎn)生壓差，在壓差的作用下，氣體被壓(吸)進(jìn)泵腔，然后從排出口排出。 應(yīng)注意小型真空泵的使用: 1.負(fù)載啟動(dòng)問(wèn)題。 如果小型真空泵在啟動(dòng)前在其吸入口有真空或在其排氣口有壓力，則應(yīng)考慮泵的另一個(gè)技術(shù)參數(shù):入口的最大啟動(dòng)負(fù)荷和排氣口的最大啟動(dòng)負(fù)荷。 2.小型真空泵的中溫問(wèn)題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇普通類型或高溫類型。 3.小型真空泵的可靠性。根據(jù)微型泵故障后果的嚴(yán)重性，完全按照自己的要求進(jìn)行。應(yīng)特別注意的是，該參數(shù)是...
2020
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03
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一、干式螺桿真空泵開(kāi)機(jī)前的檢查和準(zhǔn)備 1.檢查真空泵部件是否齊全; 2.檢查不同油位觀察窗處的油位，并確認(rèn)油位在油位觀察窗中心線以上約3毫米處。 3.檢查并確認(rèn)真空裝置各閥門(mén)的狀態(tài); a.過(guò)程入口閥關(guān)閉。 b.入口過(guò)濾器排水閥關(guān)閉。 c.出口管道暢通，出口管道排污閥開(kāi)啟。 d.冷卻水入口管道和出口管道閥門(mén)開(kāi)啟。 氮?dú)饩€閥門(mén)打開(kāi)，吹掃氣體壓力為0.5巴，氮?dú)饷芊鈿怏w壓力為3巴，吹掃閥門(mén)關(guān)閉。 二、干式螺桿真空泵開(kāi)機(jī)操作步驟 1.聯(lián)系現(xiàn)場(chǎng)中控確認(rèn)可以啟動(dòng)，通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)操作欄啟動(dòng)按鈕啟動(dòng)真空泵; 2.關(guān)閉出水管排水閥; 3.檢查或調(diào)整氮?dú)饷芊鈿怏w流量，并確認(rèn)流量為2.5——3升/分鐘; 4.打開(kāi)凈化閥，確認(rèn)流量?jī)x表流量設(shè)置為最大值。吹掃5——10分鐘后，關(guān)閉吹掃閥; 5.打開(kāi)工藝入口閥并接入系統(tǒng); 6.真空泵運(yùn)行期間，觀察機(jī)體溫度。可以通過(guò)溫度調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)水量來(lái)控制溫度(當(dāng)溫度調(diào)節(jié)閥位于刻度0時(shí)水量最大，當(dāng)其位于刻度5時(shí)水量最小)。溫度要求盡可能控制在50——75℃，以保證不超過(guò)80℃。 三、干式螺桿真空泵停止操作步驟 1.關(guān)閉工藝入口閥，切斷系統(tǒng); 2.打開(kāi)吹掃閥，吹掃20——40分鐘后，關(guān)閉吹掃閥; 3.通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)操作柱停止按鈕停止; 4.關(guān)閉氮?dú)忾y; 5.關(guān)閉冷卻水閥門(mén);如果在冬季長(zhǎng)時(shí)間不使用，應(yīng)排出機(jī)體和管道中的冷卻水，以防凍結(jié)。 6.打開(kāi)出口...
2020
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03
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真空系統(tǒng)是指通過(guò)管道將真空泵、真空計(jì)和各種部件以適當(dāng)?shù)姆绞竭B接起來(lái)，達(dá)到一定真空度的裝置。真空系統(tǒng)的基本要求是什么? 1.在泵送裝置或工作室中獲得所需的極限真空和工作真空 極限真空度是指裝置在無(wú)泄漏和放氣時(shí)達(dá)到的真空度，工作真空度是指裝置在進(jìn)行真空處理時(shí)能夠保持的真空度。在真空處理過(guò)程中經(jīng)常會(huì)釋放出大量的氣體，此時(shí)的工作真空度將大大低于極限真空度。極端真空度和工作真空度有其自身的重要性，它們從不同方面影響著器件的質(zhì)量。例如，在使用氧化物陰極裝置的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2電極除氣和陰極分解將產(chǎn)生大量除氣。如果工作真空度差，電極可能被氧化，陰極可能活化不好。然而，當(dāng)裝置最終被密封時(shí)，基本上沒(méi)有泄漏和放氣，并且裝置中的真空度取決于排氣真空系統(tǒng)的極限真空度。 2.獲得一定工作真空度所需的時(shí)間 這個(gè)時(shí)間取決于真空系統(tǒng)機(jī)組的抽吸速度。提高泵送速度可以縮短這一時(shí)間。大型工作室顯然需要大的泵速。有時(shí)工作間不大，但由于泄漏和放氣嚴(yán)重，真空系統(tǒng)也需要較大的抽氣速度，否則大量的泄漏和放氣會(huì)大大降低真空度，使系統(tǒng)無(wú)法工作。 3.泵送裝置或工作室中有合適的殘留氣體成分 實(shí)踐證明，僅僅提高和保證極限真空度和工作真空度是不夠的，還需要對(duì)殘余氣體成分有一定的要求。例如，對(duì)于真空攝像裝置，為了在一年的使用壽命內(nèi)保持靈敏度降低不超過(guò)巧合，要求裝置中殘留氣體的氧含量不高于10-2Pa。耐高壓真空開(kāi)關(guān)管不應(yīng)...
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