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2024 - 12 - 25
深圳恒才機電設備有限公司代理是司倍克代理商,是華東代理商,為客戶提供專業的水環真空泵選型,真空泵配套方案及設備,歡迎大家來訪了解,司倍克水環真空泵在行業應用中,不僅起到了密封作用,還起到了冷卻作用。循環水箱內的水在泵體內部形成一層水環,通過不斷地循環使用,提高了水的利用率和減少了水的消耗。同時,水環的摩擦作用也產生了一定的阻力,使得泵體內部的氣體被有效地壓縮和排出。這種工作原理使得司倍克水環真空泵具有抽氣量大、抽速快的特點,能夠滿足大規模生產的需求。在具體應用中,司倍克水環真空泵的參數和性能也表現出色。以V系列為例,其流量可達445m³/h,壓力為33mbar。作為單級泵,它具有機械密封和閥門設計,確保了泵體的密封性和可靠性。此外,它還能處理干燥和潮濕的氣體,以及高達80°C的工作液體和高達120°C的吸收氣體。這些特點使得司倍克水環真空泵在多種工業領域中都能發揮出色的性能。在電機方面,司倍克水環真空泵也采用了先進的技術。緊耦合型號采用B35接近標準電機,支架版本采用B5標準電機,這不僅節省了成本,還提高了電機的運行效率和可靠性。同時,電機的聲壓級在65至72分貝(A)的范圍內,確保了操作者在工作過程中的舒適度。司倍克水環真空泵在材質選擇上也十分講究。它采用不銹鋼、鑄鐵和有色金屬制成,具有耐腐蝕特色。不銹鋼材質更能適應苛刻環境,對于真空使用反腐更耐用、...
2019 - 08 - 30
1.在安裝水環真空機組之前檢查設備的完整性,并熟悉每個泵的使用說明書。2.將水環羅茨真空機組固定到位以固定底角并根據需要連接管道。注意:連接進氣管時,應在設備上方的管道中安裝20-40目的過濾器,以防止焊渣等異物進入真空機組。管道通過泵送測試并且測試成功后,可以將其取出。最好安裝Y濾鏡。應在羅茨真空泵入口與系統之間的連接處安裝一個閥門,以便在停止時可以先關閉,以便將該單元與真空系統分開;應在液環泵和供水管路之間安裝球閥,以控制液環泵。內部供應的液體量。3.在啟動設備之前,檢查系統管道是否有泄漏;在液環泵啟動之前,車輛開始檢查是否卡住了;在開始之前,應根據羅茨真空泵使用說明書按下羅茨真空泵油箱和油杯。油位按照規定的要求注入;并連接羅茨真空泵的冷卻管路,以確保羅茨泵軸端蓋的冷卻效果。4.根據電氣原理圖組裝控制柜并連接電機和電接點真空計。5.在給電控柜供電前,還應遠程測量其絕緣電阻≮10MΩ,并且機架與電機接地良好;在啟動機組之前,檢查每個泵的旋轉方向是否正確,并在開車前做好其他準備工作。6.將水環羅茨真空機組真空計上的真空度下限調整到-0.092MPa,并將上限調整到最大值;注意:調整電氣觸點真空規的上限和下限時,必須切斷總功率以防觸電。 7.向電控柜發電,打開供液閥向液環泵供水,按下啟動按鈕,液環真空泵運行;電接點真空計控制羅茨真空泵自動啟動,機組開始工作并驅動整個系統。在...
2019 - 10 - 25
如何從水環真空泵中抽水  水環真空泵廣泛用于工業和化學領域。 水環真空泵具有抗腐蝕性強,極限真空度高和排量大的特點。 水環如何向真空泵中加水告訴您.  1.關閉泵壓力水管中的閘明,并填充水環真空泵。加水后,關閉漏斗上的閥,打開球閥進入氣管閥和氣管上的供水管,然后啟動水環真空泵。  2.在第氣管行排出水和氣體的混合物。開始時,混合物中的氣體占據了主要成分。然后,水的成分越來越多,直到所有水都用完為止,這表明水被水泵完全充滿,從而完成了水并可以啟動水泵。在重新調速時,關閉氣管上的氣管閥門并停止水環真空泵。  3.如果泵站中有兩個以上的泵,則可以通過氣管將水環真空泵連接到泵主管。每個泵的泵殼的頂部通過吸入支管連接到泵主管。每個分支上都安裝了一個閥,以便可以分別泵送每個泵。  4.有時,為了冗余起見,可以安裝兩個水環真空泵,每個閥都放在氣管上。發生故障時,可以關閉泵上的進氣閥,并可以使用另一個泵來防止泵啟動。通常情況下,兩個水環真空泵可以同時抽水,以加快水的轉移速度。  影響水環真空泵機組振動的主要因素如下:  (1)電機轉子或內部磁不平衡。  (2)真空泵中的氣穴現象。  (3)軸承,旋轉零件和密封零件的磨損。  (4)真空泵支腳以及進出口管支撐不良。  (5)真空泵和管路的布局設計不合理。  (6)真空泵和電機中心未對準或聯軸器磨損。  (7)管道安裝質量差。  水環真空泵管路的選擇方...
2019 - 11 - 01
旋片真空泵運行聲音比較大的原因是什么呢?真空泵要定期進行檢查?接下來我們來解決一下這兩個問題.  旋片真空泵聲音大的原因  1.當工作流體的流量過大時會產生氣蝕聲,從而導致旋片真空泵的聲音變大,因此有必要控制工作流體的流量。  2.如果處于工作狀態,真空計的真空度將高于-0.093,并且會產生尖銳的噪音(氣蝕聲)。這是正常現象,因為旋片真空泵本身具有匹配的氣蝕維持管,以減少這種噪音,因此,只要打開閥門,就可以降低噪音。  3.如果不是上述問題,那么泵體很可能會吸入碎屑,并且在葉輪高速運行的情況下,由碰撞產生的間歇性噪聲將得到修復。  定期檢查真空泵的方法  真空泵的主要技術性能(真空度等)達到設計要求或工藝要求,輔助設備(冷凝器等)齊全。運行穩定,聲音正常,無過熱,密封性好。  旋片真空泵設備的潤滑系統狀況良好,潤滑油質量符合規定要求,并定期檢查換油。各種儀器(例如真空計)指示正確的值并定期檢查;每個閥門開關靈活,密封性好,無泄漏;管道無泄漏,并定期檢查。電機安裝正確,運行正常(溫升,聲音正常),電路安全可靠,有接地保護措施,電氣裝置(控制柜)可靠,電氣儀表指示正確,安全防護裝置齊全。設備和冷卻系統清潔且無生銹。 水環真空泵冷卻系統運行正常,冷卻裝置狀態良好,排水溫度未超過規定要求,應設有斷水保護裝置。通常,使用的工作流體是水。礦山的單軸振動篩在轉子葉輪上使用能量,以被液體接收并傳...
2020 - 06 - 10
無論哪種真空泵,振動和噪聲都會影響工業真空系統的應用,甚至造成環境噪聲污染。因此,在中,真空泵行業,降低泵的振動和噪聲對真空泵的實際使用和使用壽命非常重要。  為了更形象地分析具體事物,我們還是以滑閥真空泵為例。自滑閥泵問世以來,由它的轉子慣性力引起的振動引起了人們的注意,并做了大量的工作,但到目前為止這個問題還沒有完全解決。目前,普遍認為:滑閥泵的轉子產生的慣性力是泵振動的主要原因。  如果真空泵的工作點嚴重偏離效率點,將運行:葉片,導致液體流動不均勻和回流不穩定。氣穴現象是由于局部壓力降低等原因造成的。振動:由機械原因引起,如轉子部件不平衡:泵、電機和聯軸器不中軸彎曲:齒輪齒面磨損:滑動軸承油膜振動:滾動軸承履帶、鋼球不圓或內外圈脫落:設計不合理或熱膨脹引起管道共振過大;松動的地腳螺栓等。  從目前的研究結果來看,真空泵的主要振動來自運動系統產生的不平衡慣性力。目前,解決不平衡慣性力的方法包括以下幾個方面  首先,采用動平衡方法。通常,它可以通過分析來計算,然后添加一個平衡輪并放置在滑輪外部。  增加一個配重或平衡輪來平衡和阻尼偏心輪和滑閥的慣性力。實踐證明,這是一種有效的減振方法。  第二,還可以打開和關閉機械減振裝置。當然,這些裝置中的大部分都用于高速泵和泵中與高泵速。例如,減振是通過在泵底座上添加防振膠來實現的。  第三,調整水泵結構,根據實際需要設計基礎型和臥室型水泵。...
2018 - 05 - 21
一、真空泵真空度要求單位(pa/mba);真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如:真空工藝要求100pa(絕對壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求絕對壓強高于3300Pa,則優先選擇水環式真空泵作為真空裝置,如果絕對壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。 二、真空泵抽速要求單位(L/S或M3/MIN);真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下,排出氣體、液體,固體的能力),一般單位:m3/h,L/S,m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然,真空泵的選型是一個綜合過程,涉及到相關經驗等因素。S=(V/t)×ln(P1/P2)其中:S為真空泵抽氣速率(L/s)V為真空室容積(L)t為達到要求真空度所需時間(s) P1為初始壓強(Pa)P2為要求壓強(Pa)三、真空泵要抽的物體成分;1、被抽物體是氣體、液體還是顆粒,如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質,慎選旋片式真空泵,如果真空度要求較高,則應加過濾裝置加以過濾方能使用旋片式真空泵做真空獲得設備。2、要知道被抽物體是否有腐蝕(酸性還是堿性,PH值是多少?),若含有酸堿腐蝕或有機腐蝕等因素的氣體,應過濾或中和處理才...
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Hot News / 熱點新聞
發布時間: 2025 - 04 - 15
來源: 7581
針對PCB熱壓機配套中央真空泵系統方案,以下是一個綜合性的解決方案,結合高效節能、穩定性、維護便利性及智能化控制等關鍵要素:一、系統設計原則高效節能采用羅茨水環真空機組作為核心配置,羅茨泵作為前級泵快速排出空氣,降低后級水環泵負荷,減少能耗。水環泵以水為介質,無需潤滑油,避免油污染,符合環保要求。引入變頻調速技術,根據生產需求動態調整真空泵運行速度,確保設備始終處于高效區運行。穩定性與可靠性設計集...
發布時間: 2018 - 11 - 16
來源: 136
真空機組的分類?真空機組一般根據主泵的類型來命名,然后可根據產品特點來進行分類,如含油真空機組與無油真空機組;更常見的,是按真空應用范圍來,可分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組。1.低真空機組工作壓力高、排氣量大,多用于真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。低真空機組常用的主泵,容積式真空泵中的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以勝任,但根據被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件,需配置除塵器、氣水油水分離器、干燥阱等設施。2.中真空機組適用于需要大抽速和獲得中真空的各種真空系統中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等行業。以往中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。隨著螺桿真空泵這樣的無油真空泵的興起,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐漸增多,適應性更廣。3.高真空機組工作于分子流狀態下,工作壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情況下主泵由擴散泵、分子泵、鈦升華泵以及低溫冷凝泵等來承擔,由于它們無法直接在大氣下工作,因此必須配置前級泵、預抽泵等,特殊情況下為防止氣壓波動還需要配置維持泵與儲氣罐等。4.超高真空機組工作壓力區間在10-6~10-10Pa,需要主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上且在工作壓力區間內保證相應的抽速,如濺射離子泵、渦輪分子泵等,而且對系統組成的材料要求能經受200~450℃高溫烘烤并保證低漏氣率與出氣率等。真空系統可以抽哪些氣體?1.真空系統工藝過程中產生的氣體:它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體,同時真空系統中液體或固體蒸發的氣體也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料,這部分氣體的量的計算都是不同的。  ...
發布時間: 2018 - 11 - 14
來源: 100
碳氫行業集成式真空機組的特點:1、統一專業布局,對真空系統進行了集中優化,省卻了工廠的加工和組裝工作,免除不當安裝帶來的使用問題;2、各個單元可以方便拆卸,易于維護;3、多個保護監測點,能實時監測和發現并反饋問題,易于發現故障點,方便維護人員及時處理,簡化操作,便于維護保養;4、本真空系統具有進氣降溫、除雜過濾、汽液分離、降噪、提高系統抽速(比平常快10%-20%)等多重作用;5、綜合回收處理器,具有高效的碳氫回收能力,其排放含量低于5ppm;碳氫清洗行業空泵:
發布時間: 2018 - 11 - 12
來源: 128
高溫泵可以無接觸地透過非磁導體(隔離套)進行動力傳輸,這種傳動裝置稱為磁性聯軸器。電動機通過聯軸器和外磁鋼聯在一起,葉輪和內磁鋼聯在一起。在外磁鋼和內磁鋼之間設有全密封的隔離套,將內、外磁鋼完全隔開,使內磁鋼處于介質之中,電動機的轉軸通過磁鋼間磁極的吸力直接帶動葉輪同步轉動,因此高溫泵它的優缺點有,      1. 高溫泵其主要優點:由于傳動軸不需要穿入高溫泵泵泵殼,而是利用磁場透過空氣間隙和隔離套薄壁傳動扭矩,帶動內轉子,因此從根本上消除了軸封的泄漏通道,實現了完全密封;傳遞動力時有過載保護作用;除磁性材料與磁路設計有較高要求外,其余部分技術要求不高;高溫泵的維護和檢修工作量小。  2.高溫泵其主要缺點:磁力驅動泵的效率比普通離心泵低;對防單面泄漏的隔離套的材料及制造要求較高;磁力驅動泵由于受到材料及磁性傳動的限制,因此國內一般只用于輸送100℃以下、1.6MPa以下的介質;由于隔離套材料的耐磨性一般較差,因此磁力驅動泵一般用于輸送不含固體顆粒的介質;聯軸器對中要求高,對中不當時,會導致進口處軸承的損壞和防單面泄漏隔離套的磨損。  3.高溫泵國外溫度:一般國外,像SPECK品牌溫度達350度最高,模溫機常用高溫磁力泵為220度-350度。 高溫油泵作為一種優質的熱油循環泵和作載熱體輸送泵,是熱交換設備中的理想配套用泵,可輸送不含固體顆粒的高溫液體。高溫油泵可從從管路布置以及操作運轉條件、液體性質、液體輸送量、裝置揚程這幾個參數來選型,1.高溫泵液體裝置系統的管路布置條件指的是送液高度送液距離送液走向,吸如側最低液面,排出側最高液面等一些數據和管道規格及其長度、材料、管件規格、數量等,以便進行系梳揚程計算和汽蝕余量的校核。2.高溫泵操作條件操作條件的內容很多,如液體的操作T飽和蒸汽力P、吸入側壓力PS(絕對)、排出側容器壓力...
發布時間: 2018 - 11 - 03
來源: 164
半導體工藝真空主要用在蒸發,濺射,PECVD,真空干法刻蝕, 真空吸附,測試設備,真空清掃等等鍵合工序,半導體生產制造過程中容易產生易燃易爆以及有毒的物質氣體,會對生產及人員安全造成威脅,因此,半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項:  1、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:  半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。  2、半導體真空泵有效稀釋有害氣體的濃度:  半導體易產生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至爆炸;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍.  3、真空泵注意氧氣的濃度:  空氣中的氧如果濃度過高也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度,采用惰性氣體來稀釋,防止濃度過高;假設是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油,并及時更換油濾和油品。  4、防止真空泵溫度過高:  比較容易理解這點,半導體在真空泵的應用中,有害氣體比較多,而無論是干式真空泵還是油封機械泵,泵腔內溫度過高,高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。  當我們在使用真空...
發布時間: 2018 - 10 - 26
來源: 173
羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于 1944 年首先出現于德國,是為適應在 10 ~ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵,必須與前級泵組合成羅茨真空泵機組才能使用,羅茨真空機組在、造紙、食品、電子工業、冶金、石油化工等都有應用到。 根據羅茨真空泵工作壓力范圍的不同,分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵和高真空多級羅茨泵。國內用量最多的為中真空羅茨泵 ( 以下簡稱羅茨泵 ) 。羅茨泵與其它油封式機械泵相比有以下特點: 1、在較寬的壓力范圍內有較大的抽速; 2、轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現較高轉速; 3、泵腔內無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統的污染; 4、泵腔內無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感; 5、壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差; 6、轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。 怎么選擇羅茨真空機組:    1.羅茨真空機組的壓縮比,羅茨泵真空機組的羅茨泵與前級泵的抽速比的選擇是很重要的。因為羅菠泵的壓縮比很有限。這一壓縮比決定著前級泵的容越,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2~10內選取。另外應當考慮對預抽時問的要求。真空設備是作為輔助設備應用于各種機械設備中的.如果正常工作時間遠比預抽時間,可選較小的前級泵(壓縮比可大些),若真空窒較大.而且要求很快預抽,就用較大的前級泵。有時為了更好地發揮設備的效率,機組前裝有一臺較大的預抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級泵維持,這樣做是為了節約功率。      2.羅茨真...
發布時間: 2018 - 10 - 24
來源: 472
旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵,主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。旋片泵有單級和雙級兩種,雙級就是在結構上將兩個單級泵串聯起來,一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。。旋片式真空泵工作壓強范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵,旋片式真空泵可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵,它被廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等行業和科研部門。阿特拉斯雙級旋片泵:使用旋片式真空泵的十個知識點:1、使用旋片式真空泵前,保證泵的清潔,防止雜物進入泵內。查看油位,以停泵時注油至油標中心為宜。過低對排氣閥不能起封油作用,影響真空度。過高,會引起通大氣啟動時噴油。運轉時,油位有所升高,屬于正常現象。油采用規定牌號的清潔真空泵油,從注油孔加入。加油完畢后,應旋上螺塞。油宜經過濾,以免雜物進入,堵塞油孔,加油按油標指示刻度加入真空泵油。旋轉三通閥,使泵的吸氣管與大氣相通,而與被抽空容器隔絕,打開排氣口。2、環境溫度過高時,油的溫度升高,粘度下降,飽和蒸汽壓會增大,會引起極限真空有所下降,特別是用熱偶計測得的全壓強。3、旋片真空泵不應用來抽除含氧量過高、有爆炸性以及對金屬有腐蝕的氣體。另外,也不宜吸入能與泵油起反應的氣體和含有大量水蒸氣的氣體等4、旋片真空泵可在通大氣或任何真空度下一次啟動,泵口如裝接電磁閥,應與泵同時操作。5、旋片真空泵運轉正常后.緩慢旋轉三通閥,使泵的吸氣管與被抽空容器相通而與大氣隔絕。6、用手轉動皮帶輪,檢查運轉情況,無異常情況后,再接通電源,注意轉動方向。7、使用一段時間后,皮帶變得松弛,要進行電機位置的調整。注意補充泵油,發現泵油內混有雜物或水時,要更換新油,清洗泵體,不準用乙酸乙酣、丙酮等揮發性的液體清洗泵體。8、檢查大連真空泵的極限真空以壓縮式水銀真空計為準,如計經充分預抽效驗,泵溫達到...
發布時間: 2018 - 10 - 23
來源: 180
印刷行業用GHS1600VSD+螺桿真空泵和ZS18正壓鼓風機, 此行業要求真空度300-500mbar電子等行業,用GHS VSD+節能螺桿真空泵小部件夾持加工,要求真空度:300-500mbar  易拉罐生產線,使用GHS VSD+系列阿特拉斯螺桿真空泵,要求真空度300-400mbar電子、板式家具等行業,大部件夾持加工,使用螺桿真空泵達到要求真空度100-200mbar鋰電池部分工藝使用螺桿真空泵,要求真空度20-100 mbar 食品包裝,用螺桿真空泵進行真空包裝,要求真空度5-20 mbar
發布時間: 2018 - 10 - 18
來源: 146
大部份行業用到真空機組,那么真空機組的類型有哪些呢,怎么組合選型?真空機組一般依據主泵的類型來命名,比如水環真空機組,水環羅茨機組,螺桿真空機組等等,依據產品特點來進行分類,如含油真空機組與無油真空機組;常見的是,是按真空使用規模來分,可分為低真空機組、中真空泵機組、高真空機組及超高真空機組,下面和恒才公司一起來了解一下吧。 真空機組類型:1.低真空機組,作業壓力高、排氣量大,多用于真空運送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥機真空脫氣等。低真空機組常用的主泵,容積式真空泵中的往復泵、水環泵、油封機械泵、螺桿真空泵、濕式羅茨泵以及噴射泵、分子篩吸附泵等這些直排大氣型的真空泵都可以擔任,但依據被抽氣體的清潔程度、濕度及其他條件,需裝備除塵器、氣水油水分離器、枯燥阱等設備。2.中真空機組,適用于需求大抽速和獲得中真空的各種真空體系中,如鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理及醫藥化工、電工焊接等職業。以往中真空機組由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環真空泵以及雙羅茨真空泵這樣的組合居多。跟著螺桿真空泵這樣的無油真空泵的鼓起,羅茨真空泵+螺桿真空泵這樣的無油真空機組也逐步增多,適應性更廣。3.高真空機組,作業于分子流狀態下,作業壓力區間在10-2~10-6Pa,排量小、抽速大,一般情況下主泵由擴散泵、分子泵、鈦提高泵以及低溫冷凝泵等來承擔,因為它們無法直接在大氣下作業,因而必須裝備前級泵、預抽泵等,特殊情況下為防止氣壓動搖還需求裝備維持泵與儲氣罐等。4.超高真空機組,作業壓力區間在10-6~10-10Pa,需求主泵的極限真空要在10-7~10-8Pa以上且在作業壓力區間內確保相應的抽速,如濺射離子泵、渦輪分子泵等,并且對體系組成的資料要求能飽嘗200~450℃高溫烘烤并確保低漏氣率與出氣率等。    真空機組選型:    1、真空泵組合,各種...
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