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2020 - 12 - 14
大多數水環真空泵泵軸彎曲的原因多半是由于袖的剛度不夠,加之葉輪有較大的不平衡,運行時產生變形所致。軸的彎曲方向和大小可以用下述方法測量:將軸平放在支承上,將兩支承點(可以是泵軸中心孔,也可以是軸頸部位)調至等高,在軸上選擇幾個等距斷面,在軸旋轉一圈中用千分表分別測掀四個方向(即每周轉動90°時測量一次)上的徑向跳動,作好記錄。根據此數據可以求得四個方向上的彎曲數值,用圖解法可以找到最大彎曲的方向和大小,這樣就可以進行矯直了。水環真空泵泵軸的裂墳和折斷的部位,往往發生于局部應力集中的地方,比如鍵槽邊緣處、直徑突變處等。損壞的原因往往由于振動促使疲勞破壞。  如果水環真空泵泵軸出現疲勞裂紋(即將折斷的先兆),應及時予以更換。如果由于客觀因素暫時無法更換而需繼續使用時,臨時的補救辦法是對裂紋進行補焊。使用補焊后的泵軸時,要經常注意補焊區的變化,以免發生事故。導致疲勞破壞的主要原因是,由于泵軸在運轉過程中,泵腔內氣體對泵軸的作用力所引起,這個作用力又叫徑向力。泵軸的疲勞破壞,除了水環真空泵內存在徑向力這個根本原因之外,結構不合理也是不能忽視的重要原因。  目前水環真空泵軸與葉輪均為一級動配合,鍵槽處又沒有使用0型密封圈密封,泵內液體(特別是化工上使用腐蝕性的液體作液環時)就會通過配合間隙和鍵槽進入軸孔內,腐蝕軸和葉輪的軸孔,使疲勞強度大為降低。腐蝕和磨損后的配合間隙增大(有的磨成...
2020 - 12 - 24
一、 水環式真空泵結構  水環式真空泵主要部件是葉輪和殼體,葉輪是由葉片和輪轂構成,葉片有徑向平板式,也有向前(向葉輪旋轉方向)彎式。殼體內部形成一個圓柱體空間,葉輪偏心地裝在這個空間內,同時在殼體的適當位置上開設吸氣口和排氣口。吸氣口和排氣口開設在葉輪側面殼體的氣體分配器上,形成吸氣和排氣的軸向通道。  殼體不僅為葉輪提供工作空間,更重要的作用是直接影響泵內工作介質(水)的運動,從而影響泵內能量的轉換過程。  水環式真空泵工作之前,需要向泵內注入一定量的水,此部分水起著傳遞能量和密封作用。當葉輪在電動機驅動下轉動時,水在葉片推動下獲得圓周速度,由于離心力的作用,水向外運動,即水有離開葉輪輪轂流向殼體內表面的趨勢,從而就在貼近殼體內表面處形成一個運動著的水環。由于葉輪與殼體是偏心的,水環內表面也與葉輪偏心。由水環內表面、葉片表面、輪轂表面和殼體的兩個側蓋表面圍成許多互不相通的小腔室。由于水環與葉輪偏心,因此處于不同位置的小腔室的容積是不相同的。小腔室隨著葉輪的旋轉,它的容積是不斷變化的。如果能在小腔室的容積由小變大的過程中,使之與吸入的氣體相通,就會不斷地吸入氣體。當這個腔室的容積由大變小時,使之封閉,這樣已經吸入的氣體就會隨著空間容積的減小而被壓縮。氣體被壓縮到一定程度后,使該空間與排氣口相通,即可以排出已經被壓縮的氣體。  二、水環式真空泵的工作原理  水環式真空泵的工作原理可...
2021 - 01 - 06
1、工藝要求達到的真空度  真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如:真空工藝要求100pa(絕對壓力)的真空度,選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求絕對壓強高于3300Pa,則優先選擇水環式真空泵作為真空裝置,如果絕對壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。  2、工藝要求的抽氣量(抽氣速率)  真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下,排出氣體、液體,固體的能力),一般單位:m3/h,L/S,m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然,真空泵的選型是一個綜合過程,涉及到相關經驗等因素。  S=(V/t)×ln(P1/P2)  其中:S為真空泵抽氣速率(L/s)  V為真空室容積(L)  t為達到要求真空度所需時間(s)  P1為初始壓強(Pa)  P2為要求壓強(Pa)  3、判定被抽物體的成分  第一、被抽物體是氣體、液體還是顆粒,如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質,慎選旋片式真空泵,如果真空度要求較高,則應加過濾裝置加以過濾方能使用旋片式真空泵做真空獲得設備。  第二、要知道被抽物體是否有腐蝕(酸性還是堿性,PH值是多少?),若含有酸堿腐蝕或有機腐蝕等因素的氣體,應過濾或中和處理才...
2021 - 01 - 18
一、泵和電機的安裝  真空泵和壓縮機在安裝前,用手轉動聯軸器,保證泵內沒有卡住和其它損壞現象。整套設備運抵安裝地點時,如果包裝已損壞或受潮,以及泵已經出廠八個月以上時,應在安裝前全部拆開檢查。如果真空泵或壓縮機正常,將泵和電動機安裝在泵座上時,應校正電動機軸與泵軸的同心度,因為如果電動機軸與泵軸之間有極小的傾斜也會引起軸承發熱和零件的嚴重磨損。校正方法如下:將直尺平行放在聯軸器上,在整個圓周的任何位置直尺應與聯軸器圓周完全密合,沒有間隙,且聯軸器的軸向間隙相等時,則達到了所要求的同心度。  電動機與泵軸,即使有極小的傾斜,也會引起軸承發熱和零件過早磨損等嚴重后果,如果安裝正確,用后即能輕松地轉動泵軸。在泵的進氣口應安裝過濾裝置,以防異物進入泵腔內。  二、汽水分離器的安裝  汽水分離器根據外形圖安裝在地基上。如果必須改變安裝位置時,應注意分離器的聯接管路不宜過長,轉彎不宜過急,否則水和氣在管道中的流動損失必將增加,從而增加了泵排氣端的壓力,這樣就降低了氣量和真空度,增加了功率消耗。  三、泵與汽水分離器的管路安裝  泵的排氣管應與汽水分離器進撖這相連,當作壓縮機使用時,汽水分離器的排氣管應和使用壓縮空氣的系統相連接。抽真空時如不設排氣管路,氣體則由分離器上的排氣口直接排至大氣。如需排至室外,則可將分離器的排氣口通過管路引到室外。在泵的進氣管路上應安裝閥門進行控制,以便在停車時,防止...
2021 - 02 - 23
現在企業都迎來開工。真空泵作為通用型設備,在生產中應用越來越廣泛,要求也越來越專業,選擇合適的真空泵,將成為我們的日常生產中非常重要的一環。選用真空泵時,首先應該注意本次選購真空泵的最主要的要求、本次最注重的性能是什么,在泵滿足這一點后再去考慮其他的一些選型要求。一般在選型時,需要注意到以下事項:  1. 過程所需的真空度  真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。選擇時的真空度應比真空設備的真空度高一半至一個數量級。  2. 正確地選擇真空泵的工作真空度  一般來說,如果要求絕對壓力高于3300帕,水環真空泵是首選的真空裝置。如果要求絕對壓力低于3300帕,則不能選擇水環真空泵,選擇旋葉真空泵或真空度較高的真空泵作為真空獲取裝置。真空泵在其工作壓強下,應能在規定的時間內排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量,這就需要在一定程度上考慮真空泵在帶有負載的前提下的抽氣速率。  3. 工藝對提取率的要求  真空泵需要泵送速率。當然,真空泵的選擇是一個綜合的過程,涉及到相關的經驗和其他因素。  4. .確定要泵送的物體的成分  第一,被泵送的物體是氣體、液體還是粒子。如果要泵送的氣體含有水蒸氣或少量雜質,如顆粒和灰塵,應仔細選擇旋轉葉片式真空泵。如果要求真空度高,在旋葉式真空泵用作真空獲取設備之前,應增加一個過濾裝置進行過濾。根據所抽介質地不同,有選擇性地選用真空泵。若一...
2021 - 03 - 18
使用螺桿真空泵時,如果一切順利,中途沒有發生意想不到的故障,可以說其使用正常,但使用時必須避免這種現象。 也就是說卡死、卡死的主要表現是轉子不旋轉、旋轉噪音,螺桿真空泵卡死的原因是什么? 怎么解決?  螺桿真空泵卡死的原因  1、彈簧破損,對旋轉片施力使其不均勻。  2、組裝不當,對某局部加力。  3、吸氣口的過濾器丟失或破損,外部的污垢、金屬屑、玻璃屑等掉落到泵室內。  4、螺桿真空泵的轉子、葉片端面和端蓋之間的間隙過小,摩擦發熱導致葉片伸長或過熱摩擦和葉片硬度過大,與毛刺相互擠壓,使端面產生深深的傷痕,燒結后卡死。  5、如果軸和套筒過緊,潤滑油路會更加不順暢,由于相互的粘合,泵無法長時間使用,在泵室內會生銹。  6、泵在濕度大的環境下運行,或排出潮濕的氣體,使泵油成為乳濁液或泵油的水垢,或泵油粘度過大,在轉子啟動的瞬間破裂。  7、有些泵的高度、低真空室的氣道上有半圓槽,被壓在其上的橡膠板被壓得很緊,中間的氣道通道被堵塞等,容易堵塞泵。  螺桿真空泵卡死的解決  1、緊急停止螺桿真空泵,進行故障排除,并妥善修理。  2、不能再試車或強行試車。 否則,容易導致所有泵的廢棄,無法修復。  3、更換彈簧,安裝吸氣口的過濾器。  4、調整轉子、擋板端面和端蓋之間的間隙。  5、泵在干燥環境下使用。  螺桿真空泵的使用需要注意維護,可以避免很多現象,主要是平時如何使用,使用前是否詳細檢...
2021 - 03 - 31
在使用螺桿真空泵的過程中,為減少故障的發生并預防問題的發生,有必要定期檢查真空泵以確保設備的運行狀態。螺桿真空泵廠家會通知定期的定期檢查,告知螺桿真空泵在使用過程中注意事項。  螺桿真空泵在應用中,周期進行的例行檢查主要包括日檢查、月檢查、季度檢查以及半年檢查、年度檢查。  每日檢查的內容主要包括:1、油位線是否過高或過低;2、是否有足夠的冷卻水流量;3、檢查真空泵兩端端蓋的表面溫度是否正常;4、檢查進氣口與排氣口的壓力;5、用電流表檢查電動機負載,如果功率增加過多就表示有異常現象。  每日檢查的基礎上,每月檢查包括:1、檢查潤滑油顏色,確定是否需要更換;2、檢查油位,如果油位下降太快,則需要檢查密封。  每季度檢查內容:1、檢查冷卻水流量以及顏色,定期清理水套和水管;2、檢查并更換非驅動端端蓋的潤滑脂;3、檢查并更換驅動端端蓋內的潤滑油。  每半年檢查螺桿真空泵的進排氣管道。  每年例行檢查內容:1、檢查真空泵的密封;2、檢查螺桿真空泵的接觸面:螺桿與泵體。卸下真空泵的進氣管道,檢查螺桿與泵體的接觸面。
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Hot News / 熱點新聞
發布時間: 2025 - 04 - 15
來源: 7581
針對PCB熱壓機配套中央真空泵系統方案,以下是一個綜合性的解決方案,結合高效節能、穩定性、維護便利性及智能化控制等關鍵要素:一、系統設計原則高效節能采用羅茨水環真空機組作為核心配置,羅茨泵作為前級泵快速排出空氣,降低后級水環泵負荷,減少能耗。水環泵以水為介質,無需潤滑油,避免油污染,符合環保要求。引入變頻調速技術,根據生產需求動態調整真空泵運行速度,確保設備始終處于高效區運行。穩定性與可靠性設計集...
發布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 67
如果旋片真空泵運行不正常,往往會出現問題,如旋片真空泵真空度下降、噴油、冒煙、油封漏油、噪音等情況,以及真空泵油在泵內乳化等。如果出現這種情況,首先不用擔心,今后就按照故障逐一等待關機掃描。這里有一些解決問題的方法。  1.旋片真空泵吸油和噴油:這意味著旋片真空泵在工作時在排氣口吸油或噴油。  1、吸煙時,如果泵剛剛開始工作,有冒煙現象,恢復正常,如果長時間吸煙不正常。如何處理:煙霧表示修理泵進氣口外的管道、閥門和容器。泄漏檢測將在未來處理,吸煙將結束。渦街流量米  2、燃油噴射,說明進氣口外有許多泄漏點,甚至進氣口都暴露在大氣中。如何處理:密封泵的進氣口,使泵工作,如果沒有油注入,澄清泄漏點;排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換損壞的排氣閥片。  2.旋片真空泵的噪聲:這里指的是泵的噪聲。  1.當鋼瓶被敲擊時,泵發出不規則的噪音,像金屬撞擊金屬的聲音。這是轉子撞擊泵體時發出的聲音。這種情況主要是由于配套旋轉板之間的拉簧斷裂造成的,可能是收縮或彈出故障造成的。處理方法:翻轉泵,看看螺旋彈簧是否損壞。更換彈簧。  2、排氣閥片發出噪音,首先是泵排氣閥片損壞。如何處理:更換排氣閥片。  3.旋片真空泵真空度下降:指目前測得的旋葉真空泵真空度低于工廠目標或以前使用的真空度。真空度低有很多原因。以下是一些基本條件。  1.這次添加的旋片真空泵油的商標與原來的不同。不同品牌的真空泵油有不同的結果,因為不同品牌的油的全蒸汽壓不同。處理:根據貨物的型號標準更換正確的新真空泵油。  2.另一個原因是由真空泵油形成的真空度低,即真空泵油被乳化和脫色,并且可能太臟。處理:排空泵內的所有真空泵油,更換同類型的真空泵油,并處理泵內泵送氣體進入中的水蒸氣和雜質。  3.泵送氣體的溫度可能過高。處理方法:降低泵送氣體的溫度或增加相應的熱交換器。  4.泵中的油道可能不平滑,并且一定量的油沒有保留...
發布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 76
離心泵出口的止回閥的作用就是防止出口管路中的液體倒流形成水錘造成泵內葉輪損傷。  止回閥的安裝與泵的多少無關,止回閥主要為了在泵停止運行后,防止液體回流,使泵倒轉,從而造成損壞泵的事故,并且為了防止液體倒流對其他儲罐等的損壞(從高位罐倒流會造成罐補抽壞)。因此最好加上止回閥。  如果能保證停泵前先關閉出口閥,且出口閥不內漏或損壞,也可以不安止回閥。  離心泵出口止回閥門'止回閥'的選型  一般的泵站工程情況,對于泵出口止回閥的選擇,應遵循以下原則;  1、對泵出口管路口徑較小的管路,即DN ≤50mm時,應選用升降式止回閥。  2、對泵出口管路口徑DN50mm的管路,應選用旋啟式止回閥旋啟式止回閥可以水平或垂直安裝。旋啟式止回閥閥瓣繞轉軸作旋轉運動,其流體阻力一般小于升降式止回閥,它適用于較大口徑的場合,安裝位置不受限制,通常安裝于水平管路,它適用與較大口徑的場合。根據閥瓣的數目可分為單瓣旋啟式、雙瓣旋啟式及多瓣旋啟式三種。單瓣旋啟式止回閥一般使用與中等口徑的場合。大口徑管路選用單瓣旋啟式止回閥時,為減小水錘壓力,最好采用能減小水錘壓力的緩閉止回閥。雙瓣旋啟式止回閥適用與大中口徑管路。對夾雙瓣旋啟式止回閥結構小、重量輕,是一種較快的止回閥;多瓣旋啟式止回閥適用與大口徑管路。  離心泵出口止回閥的安裝  ① 旋啟式止回閥一般安裝在水平管道上:對于口徑DN~80mm的止回閥,也可安裝在垂直或向上傾斜的管道上。  ② 直通式升降式止回閥應安裝在水平管道上;立式升降式止回閥必須安裝在垂直管道上,介質為自下而上流動。  ③ 由于止回閥容易損壞,因此,應靠近泵出口安裝止回閥,在止回閥上部設有切斷閥(一般用球閥或閘閥),方便檢修。  ④ 為便于止回閥拆卸前泄壓,對于止回閥本身不帶放凈閥的,應在止回閥與切斷閥之間加裝泄壓用放凈閥。  防止水力沖擊對止回閥密封面損壞的保護措施...
發布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 52
性價比高、技術可靠性強、使用壽命長是旋片真空泵多年來得到廣泛應用的重要因素。旋片真空泵具有油潤滑和密封結構,因此影響旋片真空泵可靠性和使用壽命的最重要因素是泵內蒸汽和化學物質的侵蝕以及潤滑劑的老化。  1.蒸汽提取  大多數旋片真空泵制造商將詳細解釋設備在百帕時的蒸汽容差或克/小時時的蒸汽容量。這些信息指的是水蒸氣。當氣動閥打開且真空泵處于工作溫度時,如果入口壓力低于給定值,泵送的水蒸氣不能冷凝。在干燥過程中,泵的尺寸不是由根據蒸汽量的泵速決定的,而是由每單位時間收集的水量決定的。因此,必須用關閉的真空側閥和打開的空氣壓力閥預熱泵約15至30分鐘,以達到其最佳工作溫度(油)(約70-80℃)。只有在正確的操作溫度下,蒸汽才能通過打開的氣動閥泵出。高真空閥門的延遲開啟可以很容易地集成到控制系統中。  泵壓過程完成后,建議打開氣動閥,讓真空泵繼續運行約15分鐘,這樣泵體內剩余的蒸汽可以通過排氣裝置排出。該過程再生工作流體,以防止停滯腐蝕和可能的泵故障。  必要的泵前和泵后操作可通過定時工具輕松集成到控制器中。如果系統需要低于1至2百帕極限壓力的空氣壓力,則需要兩級旋片真空泵。值得注意的是,兩級旋葉真空泵的蒸汽容限和蒸汽容量將低于單級泵。  2.工作流體  使用旋葉式真空泵時,工作流體(即真空泵油)主要負責三個重要功能:密封、潤滑閥門和軸承、傳導鋁殼上的壓縮和摩擦熱以冷卻泵體。  用傳動裝置和潤滑劑保持油位是所有油封旋轉葉片泵和真空泵的重要預防性維護和日常維護。如果油位下降過低,泵系統將無法再潤滑。由于缺乏潤滑,泵系統的運行將被阻塞,最終導致泵故障。油位過低也會妨礙壓縮熱的最佳消散。泵過熱會導致工作流體快速老化。缺乏潤滑和形成油碳最終會導致泵故障。因此,必須確保泵的油位不能低于觀察鏡的中間位置。  需要定期檢查工作流體的顏色、粘度和污染物。如果工作液中的水分含量超過5%,就會呈現...
發布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 50
旋片真空泵的噪聲通常是指當泵的溫度穩定時,在極限真空下測得的噪聲水平。它包括泵本身的噪音和電機的噪音。對于用戶來說,它還關注旋片真空泵溫度不穩定時的啟動階段的噪聲、不同入口壓力下的操作噪聲以及氣體開啟鎮流器的操作噪聲。因此,應該考慮許多因素。  根據聲音產生的位置,旋片真空泵的噪音可分為以下幾個方面:  (1)轉子對缸體的沖擊,泵的剩余容積和排氣死區中的壓力油的聲音產生;  (2)排氣閥片對閥座和支架的沖擊;  (3)箱內回聲和氣泡破裂;  (4)軸承噪聲;  (5)大量氣體和油沖擊擋油板產生的噪音;  (6)其他。如傳動噪聲、風冷泵風扇噪聲等。  (7)電機噪聲,這是一個關鍵因素。  對旋片真空泵設計和處理方案的建議如下:  1.旋轉板對氣缸壁的影響  如果使用不當的設計、制造或材料導致轉子板滑動不順暢,或者因為存在死氣隙,不可壓縮的油導致轉子板頭部不總是靠近氣缸壁,這將導致轉子板撞擊氣缸壁。因此,采用圓弧面分隔進出口的結構是合適的。用排氣導槽消除死區。采用線分離結構時,排氣終點到切點的距離應盡可能縮短。對于70l/s以下的旋葉泵,考慮到旋葉的實際厚度,建議取7 ~ Lomm,大泵取大值。當其過近時,由于轉子轉子槽的存在和只有一條窄條與轉子頭接觸,一旦轉子旋轉到切點,密封效果不好,這將影響泵送速度甚至泵的極限壓力。可以看出,這種結構不能完全消除排氣死區,限制了降噪水平。  應該指出,轉子和槽之間的間隙過大會降低性能。因此,必須保證合理的公差配合和形位公差值,注意轉子板的熱膨脹,避免轉子板與槽之間的擦傷,注意油的冷油粘度,設計足夠的轉子板彈簧力。采用圓弧面分離時,轉子中心的附加偏心值不宜過大。否則,當轉子穿過兩個圓弧時,它將傾向于在交點處脫離氣缸壁,從而產生沖擊噪聲。一般來說,小泵只有0.20 ~ 0.25毫米,而大泵可以適當增加。  排氣死區中的壓力油和剩余容積中的壓力油...
發布時間: 2020 - 02 - 25
來源: 47
疫情還沒完全結束,  復工安全管理你知道怎么做嗎?  關注人的問題  一是員工安全問題。員工復工,疫情防控壓力也隨之增大。企業應給員工提供復工指南,辦公室防疫手冊,要提醒員工做好4個防疫準則,戴口罩、勤洗手、勤通風、同事之間保持距離。  二是崗位缺員問題。受疫情影響,假期延長,停工企業外地員工返回后不能立即到崗,導致一線生產職工人力不足。建議企業組織人資、生產、設備、安全部門對崗位人力滿足情況和人員安全生產能力進行一次評估,按照關鍵崗位員工到崗情況,確定復工時間。  三是人員心理問題。許多員工復工返崗后自由散漫的心還沒有收回來,心思并沒有真正回到工作崗位上,容易發生“三違”行為。建議企業在復工復產期間,安全管理人員要經常深入生產現場提醒與監督,同時嚴格落實領導干部帶班制度,抓好反“三違”管理。  關注員工的復產問題,  還有我們的生產“復工設備”  一起來了解吧~  關注設備,實施管理  對裝置開泵前的設備調試和吹掃、置換、氣密試驗等重要作業,以及裝置開停泵流程、設備運轉、公用工程啟動等重要步驟,實施責任人簽字確認制度,進行安全條件審核確認。  加強設備設施的管理。  一是檢查設備的檢驗周期是否符合要求,  二是對管道、彎頭減薄等設備腐蝕要進行一次風險識別判斷;  三是動靜設備存在的隱患是否得到消除;  四是報警聯鎖等是否完備在用、好用、管用。  看完泵的實施管理  還有泵的正確“操作方式”  一起記住它吧~  關注機械泵的維護  ①真空泵設備的啟動,停用多日的真空泵啟動時,請不要直接啟動,應該先轉動電機風葉至少三圈后再啟動。如果連續啟動三次后還停止機器,并用手盤動主機 ,再次啟動機器!這樣操作,可有效避免開機時供油不及時機頭卡死的現象。  ②真空泵設備的停車,真空泵設備在進行停車的時候,要注意(如進氣管有閥門)關閉進氣管上的閥門,之后也就應該要關閉供水管,且要注意疾速關停...
發布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 93
羅茨真空泵是一種機械真空泵,具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子。該泵不能單獨泵送空氣。前級需要配備油封、水環等。直接排放空氣。其結構和工作原理與羅茨鼓風機相似。其吸入口與真空容器或真空系統的主泵相連。真空泵的轉子和轉子之間以及轉子和泵殼之間沒有接觸。  間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉速可達3450~4100轉/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);  羅茨真空泵是一種機械真空泵,具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子。該泵不能單獨泵送空氣。前級需要配備油封、水環等。直接排放空氣。其結構和工作原理與羅茨鼓風機相似。其吸入口與真空容器或真空系統的主泵相連。真空泵的轉子和轉子之間以及轉子和泵殼之間沒有接觸。  間隙一般為0.1 ~ 0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子輪廓包括圓弧、漸開線和擺線。漸開線轉子泵體積利用率高,加工精度容易,因此轉子型線多為漸開線。羅茨真空泵的轉速可達3450~4100轉/分。抽氣速率為30-10000升/秒(1升=10-3米);單級的極限真空為6.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。  羅茨泵的極限真空不僅取決于泵本身的結構和制造精度,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,羅茨泵可以串聯使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的連續旋轉,泵送的氣體從空氣入口被吸入轉子和泵殼之間的空間v0,然后通過空氣出口排出。由于v0空間在吸入后完全關閉,泵室內的氣體不會被壓縮和膨脹。然而,當轉子的頂部圍繞排氣口的邊緣轉動并且v0空間與排氣側連通時,由于排氣側的高氣體壓力,一些氣體沖回到空間v0中,導致氣體壓力突然增加。當轉子繼續旋轉時,氣體離開泵。羅茨泵在泵室中,有兩個“8”形轉子安裝在一...
發布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 85
半導體工藝真空主要用于鍵合工藝,如蒸發、濺射、等離子體化學氣相沉積、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設備、真空清洗等。半導體生產制造過程中容易產生易燃、易爆、有毒物質和氣體,對生產和人員安全構成威脅。因此,半導體真空泵應用中的幾個安全注意事項如下:  1.定期清潔真空泵和其他附件、過濾器和管道,以避免過壓。  在半導體真空泵的應用中,當介質在介質提取過程中通過反應室和真空泵時,介質的組成可能極其復雜。例如,四氯化硅和氧氣在泵口形成二氧化硅,而四氯化鈦水解形成鹽酸。假設是油封機械泵,這些氣體物質也可能與泵油發生反應。這些變化假定形成顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質,它們可能阻塞真空泵或管道系統,影響真空泵的性能,導致壓力上升或過壓,并造成更大的風險。因此,有必要及時清理,必要時設置過濾設備。  2.有效稀釋有害氣體的濃度  半導體容易產生上述易燃、易爆和有毒的有害氣體。因此,在半導體真空泵的應用中,當提取這些介質時,有必要防止在真空泵或排氣過程中發生一些不可控的反應。例如,當與空氣或氧氣接觸時,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質會引起燃燒甚至爆炸。當空氣中氫的混合比例達到一定程度和溫度時,也會發生燃燒。這些都取決于物質的數量及其與環境壓力和溫度的關系。因此,當半導體真空泵抽取這些介質時,在壓縮之前,需要惰性氣體如氮氣將這些氣體稀釋到當前條件下的安全范圍。  3.注意氧氣的濃度  如果空氣中的氧氣濃度過高,也會發生燃燒和爆炸的危險。因此,在某些情況下,應注意氧氣的濃度,并應使用惰性氣體稀釋氧氣,以防止濃度過高。假設油封機械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及時更換濾油器和油品。  4.防止溫度過高  理解這一點更容易。在半導體在真空泵中的應用中,有許多有害氣體。但是,無論是干式真空泵還是油封機械泵,如果泵腔內溫度過高,易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易產生危險。  當...
發布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 111
當確定真空系統的配置時,設備能夠達到的極限壓力取決于從系統外部到系統內部的總泄漏率Qo和由虛擬泄漏形成的總“泄漏”率∑Q1以及泵送系統的有效泵送速度的總和。  真空技術中的泄漏孔指的是小孔、缺陷或間隙,以及可滲透元件或氣體泄漏裝置,當密閉容器內外的氣體壓力或濃度不同時,這些元件或氣體泄漏裝置允許氣體從容器壁的一側泄漏到另一側。由于泄漏孔尺寸小、形狀復雜,不能用幾何尺寸來表示,因此其尺寸一般用等效電導或泄漏率(稱為“泄漏率”)來表示,單位為pa·l/s。  焊縫是真空制造過程中最容易出現漏孔的區域之一。  常見的焊縫外觀缺陷和其他缺陷,如未熔合、未焊透、夾渣、氣孔、裂紋和內應力等,是超高真空系統中漏孔或虛漏源的隱患。為了最大限度地減少焊接缺陷并便于檢查,超高真空要求焊接零件盡可能將焊縫放置在真空側,大氣側焊縫僅用作斷續強化焊縫,而最大數量的焊縫可在制造階段單獨測試,并在最終組裝前進行校正。由于一些零件的橫截面尺寸較小,內壁的焊接受到限制,一些零件只能使用大氣側焊縫。焊縫應一次焊接,以避免兩次焊接造成的有害空間。因此,有必要保證單面焊和雙面成形的良好效果。  此外,應該指出的是,由于壓力差、振動、熱循環和其他原因在接頭中產生的應力和應變可能導致包含缺陷的焊縫中出現裂紋,從而對焊縫造成損壞,或者焊縫在使用過程中可能被腐蝕,這可能形成泄漏點。  因此,所采用的焊接方法必須能夠使焊縫的泄漏率滿足這些條件下的技術要求。  目前,不銹鋼廣泛用于超高真空容器。應該說不銹鋼的可焊性和可焊性都很好。為什么要提出超高真空容器對焊縫的要求?原因是超高真空容器要求很低的泄漏率,這也對焊縫的密封性能提出了嚴格的要求。微小泄漏難以檢測、修復和消除。實踐證明,非超高真空容器常用的壓力檢漏方法不能滿足超高真空容器的漏率要求,即在壓力檢測找不到漏點的情況下,氦質譜檢漏仍可能發現漏孔,不能滿足漏率要求...
發布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 50
旋片真空泵運行中的注意事項  旋片式真空泵的轉子以一定的偏心距離安裝在泵殼內,并靠近泵殼內表面的固定表面。兩個(或更多)旋片安裝在轉子槽中。當轉子旋轉時,旋片可沿其徑向槽來回滑動,并始終與泵殼內壁接觸。旋片與轉子一起旋轉,將真空泵室分成幾個可變容積。操作旋片真空泵時注意以下事項:  1、檢查油位,停止油泵油至油標中心為宜。過低不能將油密封到排氣閥上,影響真空度。如果過高,在大氣中啟動時會導致燃油噴射。在運行過程中,油位有所上升,這是正常現象。油應為指定品牌的清潔真空泵油,從注油孔加入。加注后,應擰緊螺塞。應過濾油,以避免異物進入堵塞油孔。  2.泵可以在大氣壓或任何真空度下一次啟動。如果電磁閥安裝在泵端口,則應與泵同時運行。  3.當環境溫度過高時,油溫將升高,粘度將降低,飽和蒸汽壓將升高,這將導致極限真空降低,尤其是熱電偶測得的全壓力。如果加強通風和散熱或提高泵油性能,極限真空可以得到改善。  4.應根據壓縮水銀真空計檢查真空泵的極限真空。如果壓力表經過充分的預測試,泵的溫度達到穩定的水平,泵的端口直接連接到壓力表,并且在運行的30分鐘內將達到極限真空。總壓力表測量的值與泵油、真空計和調節誤差有關。有時誤差甚至可能非常大,只能用于參考。  5.如果相對濕度較高,或者泵送氣體中含有較多的可冷凝蒸汽,在連接泵送容器后,宜在移動20~40分鐘后打開空氣壓力閥,關閉空氣壓力閥。停泵前,可打開氣動閥空載運行30分鐘,以延長泵油的使用壽命。  旋片真空泵的故障處理  如果旋片真空泵運行不正常,往往會出現故障,如旋片真空泵真空度下降、噴油、冒煙、油封漏油、噪音等。以及真空泵油在泵內乳化的現象等。在這種情況下,首先不要驚慌,關機后再逐一消除。以下是一些故障排除方法。  一、旋片式真空泵的煙霧和噴油:指運行中從旋片式真空泵排氣口噴出的煙霧或噴油。  故障1,抽煙。如果泵剛開始運轉時有煙,這...
發布時間: 2020 - 02 - 24
來源: 62
旋片真空泵長時間使用后,會出現真空下降、密封處漏油、真空泵旋轉停滯甚至“卡死”、嚴重油污、真空泵室生銹、旋葉撞擊聲大、硬物落入真空泵室劃傷真空泵室、真空泵過熱等異常現象。  此時,必須拆卸和清洗真空泵。該方法包括以下步驟:  (1)切斷電源,從真空系統中取出真空泵,  (2)用重力法或加壓法排放和收集污油,避免污染環境;  (3)取下皮帶和皮帶輪鍵(雙級旋葉真空泵包括皮帶);  (4)先拆下低真空端,拆下后端蓋,然后拆下低真空轉子、旋轉板、彈簧等。  (5)取下前端蓋,取出高真空轉子、旋轉板、彈簧等。  (6)取下觀察鏡、排氣閥、排氣蓋等。  (7)用汽油徹底清潔去除的金屬部件,并用酒精脫水。橡膠部件可以用15%的氟化氫溶液煮沸以去除油。對于有毛刺或鐵銹的零件,可以使用油石或金相砂紙輕輕打磨,以去除銹斑和毛刺。清潔后的零件必須干燥。  (8)組裝時,先安裝后級,托起彈簧和旋轉板,安裝到轉子上,然后將前端蓋安裝到真空泵室內,安裝定位銷,均勻對稱地擰緊螺釘。組裝后,旋轉應靈活且均勻。安裝前轉子和后端蓋后,安裝排氣閥(排氣閥片應與閥座緊密連接)和其他部件,如氣體鎮流裝置等。  真空泵維護注意事項,總結真空泵維護知識:  (1)定期檢查油位是否低,以及干油標記線。如果有低干油標記,應及時加油。杏會影響真空泵的真空度。油量不能太多,否則會造成起動困難和噴油困難等問題。  (2)應注意真空泵的正常運行、有無任何特殊噪音、機器的過載運行以及電機真空泵的溫度過高。  (3)水冷真空泵應防止冷卻水中斷,真空泵溫度不得超過70度。如果環境溫度低且干燥5度,真空泵中的冷卻水應在停機后排出,以防止真空泵凍結和破裂。  (4)真空泵應通過皮帶保持清潔。真空泵上不得放置其他物體。  (5)注意皮帶松緊是否合適。如有必要,調整或更換。  (6)真空泵油應每年定期更換1~3次。用于真空熔煉的機械真空泵每月...
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