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2020 - 03 - 31
(一)定義  1、真空泵(VacuumPump)  (1)真空泵的界定  真空泵就是指運用機械設備、物理學、有機化學或物理學的方式對被抽器皿開展抽真空而得到真空泵的元器件或機器設備。通俗化而言,真空泵是用各種各樣方式在某一密閉中改進、造成和保持真空泵的設備。  (2)真空泵的關鍵性能參數  關鍵技術參數有抽真空速度、極限壓力、額定功率、唿吸及排氣口規格這些。  (3)常見的真空泵類型  真空泵有很多種類,工業生產上應用數最多的是液環式真空泵、油潤化旋內置式真空泵;而醫院門診負壓吸引系統軟件的真空泵中心站常見的真空泵除所述二種種類外,也有水噴式真空泵、爪形電機轉子干試真空泵等種類?! ?、背壓(BackPressure)  背壓,從其字面上上的意思看來,就是指某排放系統后端壓力,一般有二種敘述方式,一就是指健身運動流體力學在密閉式器皿中沿其相對路徑(如管道或排風通道)流動性時,因為遭受阻礙物或急彎道的阻攔而被釋放的與健身運動方位反過來的壓力;二就是指系統軟件排出來的流體力學在出口處或二次側遭受的與流動性方位反過來的壓力(超過本地大氣壓力)。  比如,液壓制動系統的背壓是指液壓制動系統因其中下游摩擦阻力或元器件進、出口特性阻抗比率轉變而造成的壓力?! ?、真空泵的背壓(VacuumPumpBackPressure)  全部的泵類在工作中時都是出現背壓。泵的背壓就是指泵所輸出的流體力學相...
2020 - 04 - 03
羅茨真空泵(通稱:羅茨泵)就是指泵內配有2個反過來方位同歩轉動的葉型轉子,轉子間、轉子與泵殼內腔間有細微空隙而互相觸碰的一種變容真空泵?! ×_茨真空泵在原油、化工廠、塑膠、化肥、汽輪發電機轉子轉子動平衡、航天航空室內空間仿真模擬等設備上獲得了長期性運作的磨練,因此應當在中國大力發展和運用。另外也普遍用以原油、化工廠、冶金工業、紡織品等工業生產。真空泵零配件做為真空泵消聲器,用以真空泵的噪聲處理。  原理  羅茨泵是一種無內縮小的真空泵,一般壓縮比很低,故高、中真空泵必須前面泵。  靠泵腔內一對葉型轉子同歩、反方向轉動的推壓功效來挪動氣體而保持抽真空的真空泵?! ×_茨真空泵就是指具備一對同歩高速運轉的鞋面形轉子的機械設備真空泵,此泵不能獨立抽真空,前面要配骨架密封、水環等可直排空氣?! ∷臉嬙旌驮砼c羅茨風機類似,工作中時其唿吸口與被真空包裝器皿或超濾裝置主抽泵相連。這類真空泵的轉子與轉子中間、轉子與泵殼中間互相觸碰,空隙一般為0.1~0.八毫米;不用用食油潤化。轉子型線有圓斜線、漸開線齒輪和旋輪線等。漸開線齒輪轉子泵的容量使用率高,加工精度便于確保,故轉子型線要用漸開線齒輪型。羅茨真空泵的轉速比可達到3450~4100轉/分;抽真空速度為30~10000升/秒(一升=10-3米3);極限真空泵:單極為6.5×102帕,雙極為1×103帕。  羅茨泵的極限真空泵...
2020 - 04 - 07
一、現絕大多數醫院負壓真空泵的應用狀況:  現階段80%之上的醫院負壓系統軟件選用的真空泵為水環式真空泵?! £P鍵存有下列難題:  1、水環真空泵必須水為切削液,在運作全過程中,水和吸進氣體混和后排出來,造成水源污染,所排污的水規定做廢水處理,且應合乎現行標準國家行業標準《醫療機構水污染物排放標準》GB18466的相關要求?! ?、水環泵排出來的氣體帶有很多的病塬菌,假如氣水分離器并不是封閉式的,則會造成全部消防泵房的氣體環境污染?! ?、排氣口應考慮GB50751-2012《醫用氣體工程技術規范》有關規定  (1)排氣口周邊開設地區防護,嚴禁人通過?! ?2)排氣口應坐落于戶外,不可與醫療器材氣體進風口坐落于同一高寬比,且與房屋建筑的窗門、別的張口的間距不可低于3M;  (3)排氣口氣體的散發不可受季風氣候、周邊工程建筑、地貌以及它要素的危害,排出來的氣體不可遷移至其他工作人員工作中或衣食住行地區。  二、醫院負壓吸引系統軟件的詳細介紹  1、外置細菌過濾器  細菌過濾器是一種顆粒物型過濾裝置,其基本塬理就是說不一樣尺寸的顆粒物根據微化學纖維過慮物質時根據四種方法被捕獲,微化學纖維的橫截面直徑為0.5μm-0.75μm,關鍵的目地是過慮直徑超過0.5μm的病菌?! ?、集成化真空機組  主要特點:  (1)通道和出入口都配置過濾裝置?! ?2)泵內溫度保持在87度,縮小后的排氣管...
2020 - 04 - 10
離心泵在水利工程、化工廠等應用領域十分普遍,對其工作狀況點的挑選和耗能的剖析也日漸變得重要。說白了工作狀況點,就是指離心水泵設備在某瞬間的具體水流量、離心水泵揚程、勵磁電流、高效率及其吸上真空泵高寬比等,它表達了離心水泵的專業能力。一般 ,離心泵的流量、拉力將會會與管路系統軟件不一致,或因為生產制造每日任務、加工工藝規定產生變化,必須對泵的流量開展調整,其本質是更改離心泵的工作狀況點。除開建筑工程設計環節離心泵型號選擇的恰當是否之外,離心泵具體應用中工作狀況點的挑選也將立即危害到客戶的耗能和成本。因而,怎樣有效地更改離心泵的工作狀況點就看起來至關重要。  離心泵的塬理是把電機高速運轉的機械動能轉換為被提高液體的動能和勢能,是一個動能傳送和轉換的全過程。依據這一特性所知,離心泵的工作狀況點是創建在離心水泵和管路系統軟件動能供給與需求的均衡上的,要是二者之一的狀況產生變化,其工作狀況點馬上會遷移。工作狀況點的更改由兩層面造成:一.管路系統軟件特性曲線圖更改,如閘閥節流閥;二.離心水泵自身的特性曲線圖更改,如直流變頻變速、鉆削離心葉輪、離心水泵串連或串聯。  下邊就這幾類方法開展剖析和較為:  01.閘閥節流閥  更改離心泵流量非常簡單的方式就是說調整泵出入口閘閥的油管壓力,而離心水泵轉速比維持不會改變(一般為額定值轉速比),其本質是更改管路特性曲線圖的部位來更改泵的工作狀況點。調小閘閥...
2020 - 04 - 14
如何有效提高進口旋片真空泵的抽速?  1.進口旋片真空泵可以在一個大氣壓的初始壓強下工作。啟動后,隨著抽吸時間的增加,被抽吸容器的真空度增加,而真空泵的實際抽吸速度逐漸降低。當達到極限時,真空泵的泵送速度為零?! ?.進口旋片真空泵的實際抽速小于幾何抽速。在泵送過程中,由于管道流動阻力、真空泵漏油等因素,實際泵送速度即有效泵送速度不斷降低。主要是由于油膜間隙造成的回氣通道和油蒸汽回流,而油蒸汽回流是造成泵送速度降低的主要因素。由于回流的嚴重“內摩擦”,低壓強下泵速的增加是有限的。  3.進口旋片真空泵依靠油膜潤滑和密封。在運行過程中,嚴重的摩擦會導致油膜局部過熱,導致真空泵油熱解,釋放油蒸汽和不飽和烴。因此,真空泵油熱解產生的物質是主要污染源?! ?.油蒸汽的回流與泵送容器的真空度有關,即隨著壓強,的變化,回流速率不同。真空泵剛啟動時,氣體分子的密度很高,相對速度也很高,所以油蒸氣很難擴散回來。在從啟動到壓強,的1托范圍內,由于動態真空系統中氣體分子的頻繁碰撞,一方面,油蒸氣分子對回流的阻力增加;另一方面,在空間抽吸氣流的吹掃下,可以增加去除能力,從而可以有效防止油氣的回流;因此,當壓強P10-1托時,油蒸汽的回流速率相對較小,泵送速度損失不大。  當壓強在10-1和10-2之間時,空氣流變為過渡流動狀態,然后油蒸汽開始反向擴散。此后,隨著壓強逐步降低,氣體變成分子流,回流速率變得...
2020 - 04 - 16
你對真空泵的維護了解多少?以下是真空泵維護的一些技巧:  1、經常檢查油位位置,不符合規定必須調整到符合要求。真空泵運行時,油位應以油標中心為準。  2、換油周期應由用戶根據實際使用情況和是否滿足性能要求自行決定。對于一般的新型真空泵,建議在清除干凈和干燥的氣體時,每100小時左右更換一次油。在油中看不到黑色金屬粉末后,可以適當延長換油期?! ?、經常檢查油情況,發現油變質應及時更換新油,以保證真空泵的正常工作。  4.在運行的第一個月,真空泵將在100小時后更換潤滑油,然后每500小時更換一次。  5.正常情況下,真空泵應在運行2000小時后進行大修,以檢查橡膠密封的老化程度,檢查排氣閥片是否破裂,并清除沉積在閥片和排氣閥座上的污垢。清潔真空泵室內的所有零件,如轉子、轉子、彈簧等。通常,它用汽油清洗并干燥。清潔橡膠部件后,用干布擦干。清潔和組裝時,小心輕放,小心輕放,避免碰撞。  6、向軸承體添加軸承潤滑油,觀察油位應在油標中心線,潤滑油應及時更換或補充?! ?、檢查真空泵管道和接頭有無松動現象。用手轉動真空泵,看看它是否靈活?! ?、重新組裝后,應進行試運行。一般應運行2小時,換油兩次。由于真空泵在清洗過程中會留有一定量的揮發性物質,正常運行后應投入正常運行。  9、啟動電機,當真空泵運行正常時,打開出口壓力表和入口真空泵,根據顯示的適當壓力,逐漸打開閘閥,同時檢查電機負荷?!?..
2020 - 04 - 18
近年來,隨著我國經濟的持續快速發展,真空泵已經廣泛應用于各個領域,如醫藥制劑、制藥、生物技術、化工、電子工業、科研項目等。機械設備長時間運行會有一些故障。下面小編將介紹真空泵的一些常見故障原因和維修方法?! ≌婵毡贸R姽收显蚣跋鄳木S護方法如下:  1.旋片被堵塞?! ≈饕阅埽恨D子與泵腔內表面之間的摩擦阻力過大,使電機無法驅動轉子?! ≡颍恨D子變形,轉子中的彈簧打開后無法復位,或者彈簧壓力和轉子本身離心力的合力過大,導致轉子和泵腔內表面之間的摩擦阻力過大  維護方法:轉盤和彈簧應及時修理,如不能修理,應更換?! ?.漏油:  主要發生在真空泵油窗、油箱密封墊和電機軸承軸封處?! ≡颍哼@些零件的老化和真空泵使用時間長造成的密封失效導致漏油?! 【S護方法:更換老化的油窗、軸封、密封墊和已充滿泵油的毛氈墊。維護后,在注油前用真空泵油沖洗真空泵,并用溶劑清洗注油口處的濾網,以保持油箱清潔。  3.馬達燒壞了?! ≈饕阅埽喊l動機的定子線環燒毀。  原因:如果瞬時電流過大,電機軸承在長時間使用后會磨損,導致軸承摩擦阻力增大,電機功率增大,溫度升高,電機燒毀。維護方法:在檢查電機線圈之前檢查電機軸承。如果軸承損壞,請更換;如果電機線圈燒毀,應修理電機,并重新纏繞定子線線圈。當軸承和線圈嚴重損壞時,需要更換電機?! ∫陨蟽热葜皇?be真空泵故障的一小部分,還有其他故障。如果遇到其他故障,...
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Hot News / 熱點新聞
發布時間: 2025 - 04 - 15
來源: 7581
針對PCB熱壓機配套中央真空泵系統方案,以下是一個綜合性的解決方案,結合高效節能、穩定性、維護便利性及智能化控制等關鍵要素:一、系統設計原則高效節能采用羅茨水環真空機組作為核心配置,羅茨泵作為前級泵快速排出空氣,降低后級水環泵負荷,減少能耗。水環泵以水為介質,無需潤滑油,避免油污染,符合環保要求。引入變頻調速技術,根據生產需求動態調整真空泵運行速度,確保設備始終處于高效區運行。穩定性與可靠性設計集...
發布時間: 2019 - 08 - 09
來源: 57
茶葉制造商一直在尋找能夠幫助儲存大量茶葉的設備。旋片式真空泵在茶葉貯藏中的應用。因為茶喜歡聞,所以更怕水分,高溫和光照,需要干燥,清潔,黑暗,低溫,低氧;避免高含水量,接觸異味,光線,高溫環境,暴露空間。根據這些要求,茶葉必須在儲存前提取。茶具有很強的吸濕性和吸收氣味,易于吸收空氣中的水分和氣味。如果儲存方法稍微不合適,風味會在短時間內消失,而高產茶的價格越高,保存起來就越困難。通常,茶葉保存一段時間后的香氣,味道和顏色變化。原來的新茶會消失,味道會逐漸消失。因此,掌握茶葉的儲存方法可確保茶葉的品質在生活中必不可少。茶可吸收水分并吸收異味。因此,應特別注意適當的儲存和包裝。除了美觀,方便,衛生和產品保護要求外,還必須在儲存期間防止水分和氣味,以確保茶的質量。導致茶葉變質的主要因素是:清淡。二,溫度。第三是茶的含水量。第四是大氣濕度。五,氧氣。六,微生物。七,氣味污染。由微生物引起的變質受到諸如溫度,濕度和氧氣等因素的限制,并且氣味污染與存儲環境相關。因此,必須控制光,溫度,濕度和氧氣以防止茶葉變質。包裝材料必須是陰影的,例如金屬罐,鋁箔層壓袋等。可以使用旋片真空泵或氮氣填充的包裝去除氧氣??梢允褂妹撗鮿?。存儲方法有兩種類型:常溫存儲和低溫存儲,具體取決于存儲空間的溫度。由于茶葉的吸濕性非常強,無論儲存方法如何,儲存空間的相對濕度應控制在50%以下,并且儲存期間茶葉的含水量應保持在5%以下。根據茶的特性和茶的劣化,理論上茶的儲存和儲存是干燥的(含水量小于6%,優選3%-4%),冷藏(最好是零攝氏度)是理想的用于厭氧(真空或氮氣)和光保護。但是,由于各種客觀條件,這些條件通常是不可能的。因此,在具體的操作過程中,可以掌握茶葉干燥的必要要求,可以根據現有條件延遲茶葉的老化過程,并采取其他措施。旋片式真空泵在茶葉儲存中的應用不適用于所有茶葉,需要根據不同的茶葉品種使用。隨著社會的不...
發布時間: 2019 - 08 - 09
來源: 93
真空泵維護中的真空泵故障是什么?如何解決這些真空泵故障。通常,真空泵的故障可分為操作故障和性能故障。操作失敗可能包括泵未轉動,泵溫過高,漏油,漏水,溫度報警,氮氣報警,時間報警等,電流報警等。性能故障可能包括極壓,極限全壓,泵送效率,噪音,燃油噴射,氣鎮性能等,或可能不符合要求。在解釋真空泵故障和進口真空泵維修方法之前,首先要記住以下四個方面。1,首先要了解泵的類型,特性和當前條件。了解使用要求并確定修復目標。在進行真空泵維修之前準備好測試裝置。2.確定故障并診斷故障。判斷準,可以省事。確認將被確認。3,故障排除,拆卸必須遵循正確的拆卸方法,使用特殊工具時一定不能隨意拆卸,以減少特殊工具的不足和新操作造成的不當損壞,減少位置變化和運行時間。4,有毒有害的腐蝕性泵,用戶首先告知真空泵維修人員應做好安全防范工作,確保維修人員的健康。真空泵常見故障和真空泵維修方法1.泵沒有轉動。如果情況未知,則不能先打開泵以避免加重故障。手動測試是否可以旋轉。如果它可以旋轉,泵體不會卡住。2.高功率超標。長期連續進氣壓力過高,排氣壓力過高,雜物進入咬合,泵溫過高,旋轉葉片旋轉間隙過小,電壓過高,泵液返回泵太多。損壞電機。應盡可能避免接近最大功率的長期連續運行。如果表面有沉積物,請定期清除。3.噴砂。噴砂時,應注意不建議一直噴涂某個地方,并且必須是均勻的,以避免真空泵因尺寸偏差而出現真空偏差。4.拆卸和拆卸時,必須按照說明書的建議和規定執行訂單,記住位置并合理放置,以免錯位。5.在真空泵正常運行期間,泵中的真空泵油應保持在油印線以下。在油鏡的2/3加油時,應與不同等級和型號的真空泵油混合使用。6.應定期更換真空泵油。通常,應每3至6個月更換一次。如果發現泵油被乳化或碳化,應及時更換真空泵的特殊油。7.如果真空泵需要運行24小時,則必須每六個月對真空泵進行維修和修理。真空泵維修找專業維修人員,真空泵...
發布時間: 2019 - 08 - 08
來源: 87
流體流動過程是化學工業中的五個主要單元操作之一。流體流動過程包括轉移,過濾,固體流化和運輸活動。離心泵傳統上是流體流動過程領域的流行標準,但在某些情況下,這些離心泵效率低且成本高。在這種情況下,螺桿真空泵將是一種可行的替代方案。螺桿真空泵可用于處理各種流體,包括具有較高粘度的流體。在化學流體操作中使用螺桿真空泵技術具有許多優點,包括處理各種流速,壓力,液體類型和粘度的能力,以及即使在背壓存在下也具有一致的流速。在這方面,離心泵存在不足之處:1.過多的泵通常用于降低泵選擇的復雜性,這可能導致運行和維護成本增加,操作抵消以及高于實際需求的能耗。2.在離心泵運行期間,流量將隨壓力增加而降低。因此,對于需要穩定流速和高時間成本的工作,可能需要更長時間并且成本會更高。當泵送粘度高于100 cSt的流體時,離心泵的性能可能是負的。3.最后,這些低效率將導致能量消耗增加甚至可能犧牲生產效率,從而從根本上對化學過程的操作產生負面影響。螺桿真空泵技術在化學流體傳輸應用中的優勢1.能夠處理各種流量,壓力,液體類型和粘度2.即使由于粘度變化而存在不同的背壓,流速也是穩定的3.大批量和整體運營效率,降低運營成本4.可通過更高的泵速比控制生產或產能5.內部速度低6.自吸操作和良好的吸入特性7.機械振動小,使用壽命長8.固有的平穩和安靜的運行特性9.極低的脈動,減少應力并延長相關流體輸送部件(管道,軟管,密封件,軸承等)的使用壽命在化學過程中,沒有一個單元的操作比另一個更重要,但如果制造商想要優化其流體輸送應用的性能,最好考慮螺桿真空泵的優點。除成本外,螺桿真空泵的主要操作優勢還包括能夠在更高的速度和壓力下處理具有更寬粘度窗口的流體,能耗更低且無需考慮BEF。這些優點使螺桿真空泵成為關鍵化學過程中更有效,可靠,經濟且適應性更強的流體輸送過程。
發布時間: 2019 - 08 - 08
來源: 57
在化肥行業使用進口真空泵也非常廣泛。特別是磷肥的生產也是中國宏觀調控支持的重點產業。由于新項目和老企業的技術改造主要在水平以上,規模大,因此規模較大。超大型水環真空泵也已應用于此。例如,一家新的大型水環真空泵,其泵送能力為300m3 / min,已被安裝到云南的磷肥公司。另外,有許多磷肥企業在壓力為80~100hPa時需要大的泵送能力。因此,使用兩級水環真空泵和具有大氣噴射器的兩級水環真空泵。在這種條件下,它具有獨特的優勢。許多化肥企業已經淘汰了具有高振動,高噪音和高真空的往復式真空泵。它已被兩級水環真空泵取代,并取得了良好的效果。可以說它有兩個層次。水環真空泵將在該行業中得到越來越廣泛的應用。目前,我國真空泵采集設備仍以傳統真空泵為主,主要有旋片式真空泵,水環真空泵,閥芯真空泵,羅茨真空泵等,并應用于傳統工業。中國生產的真空泵用于電子信息產業。差距越大,與日本,歐洲和美國的差距越小。中國生產的大多數干式泵用于實驗室,化學,醫藥等領域,也可用于半導體行業。國內電子信息產業的快速發展影響了國內干式真空泵的發展。在對真空泵進行全程檢查后,在不斷提高其操作規范的基礎上,有必要展示產品的有益推廣,以完成應用,加強真空泵質量的不斷提高,憑借強大的生產優勢,庫存產品的開發利用應用,不同層次的應用擴展,快速穩定的運行可以增加產品整體推廣的實用性,進一步實現全面的性能全功能,對應公司的不同需求,產品合理的技能開發。利用進口真空泵加速其功能的推廣,增強生產能力的不斷發展,提高所有應用技術的開發,促進各種工藝的嚴格管理,增加產品的使用。實踐功能的論證可以充分證明其發展的人才,將繼續發展其主導的發展過程,擴大其所有使用價值的表現,并為所有生產能力的生產和經營提供更有用的支持。從不同的行業,它可以有力地展示進口真空泵的優勢。高標準的產品質量,可以用來促進其持續發展的能力,快速,穩定地發揮其優勢,并...
發布時間: 2019 - 08 - 08
來源: 107
羅茨真空泵在冰箱維護中的一個應用是使用真空泵抽空冰箱,這是最有效的方法。本文將羅茨真空泵應用于冰箱的維護,為真空泵的真空泵送提供依據。使用真空泵來修理冰箱有兩個功能:一是充氣壓力,目的是泄漏制冷系統;另一種是真空吸塵器,以便為制冷劑的注入做準備。這就是冰箱中需要德國羅茨真空泵的原因。如何使用羅茨真空泵對冰箱進行真空吸塵?首先,啟動冰箱自己的壓縮機運行,直到壓縮機達到一定溫度,并用手感受熱量。然后停止(或不停止)。真空泵或維護壓縮機通過管道連接到過程管道,并開始真空。大約半小時,使用打火機的燈與維護壓縮機的排氣口對齊。如果火焰穩定,可以認為系統中的真空滿足要求。然后停止吸塵并關閉三通閥。擰下移液器并修理壓縮機的連接器,連接氟瓶,并用少量制冷劑填充系統。關閉三通閥。啟動冰箱自己的壓縮機幾分鐘。然后將灌裝管連接到維護壓縮機的吸入端,打開三通閥,然后撤離。從系統中完全去除空氣和水分需要大約半小時。然后你可以照常給制冷劑充電。工作原理:我們知道水的蒸發速率與壓力和溫度有關。在較低壓力和較高溫度下,蒸發速率更快。由于夏季空氣濕度高,當空氣用來給冰箱加壓時,水會進入系統。當抽真空時,壓縮機將開始利用壓縮機產生的熱量來加熱系統中的水以加速蒸發。 。此時,更容易從真空中抽水。一般維護壓縮機是用于冰箱的壓縮機,其功率受限,并且難以繪制理想的真空。如果系統充滿少量制冷劑或在接近理想真空泵的情況下使用羅茨真空泵,系統中的制冷劑可能遠大于水分與空氣的比例。它可以很容易地抽出空氣和水分,使系統中的真空滿足要求。羅茨泵 - 水環泵裝置廣泛用于化學,食品升華和高空模擬試驗的真空系統。這種組合單元大致有以下幾種類型:羅茨泵 - 水環泵;羅茨泵 - 水環泵 - 常壓泵機組;羅茨泵 - 水環泵并聯機械真空泵。羅茨真空泵在冰箱維修中的重要性在于它是否能保持最有利的真空,是衡量真空設備運行的標準,對冰箱的安全性和經...
發布時間: 2019 - 08 - 08
來源: 79
在半導體蝕刻工藝中應用旋片式真空泵的目的是去除曝光和顯影的光致抗蝕劑微圖案中的下層材料的暴露部分,即,再現與下層材料上的光致抗蝕劑相同的圖案。蝕刻是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝和微納制造工藝中非常重要的步驟。這是與光刻相關的圖形處理的主要過程。事實上,所謂的蝕刻是狹義理解的是光刻蝕刻。首先通過光刻對光致抗蝕劑進行光刻曝光處理,然后通過其他方法進行蝕刻以去除要去除的部分。隨著微制造工藝的發展,從廣義上講,蝕刻已經成為通過溶液,反應離子或其他機械手段剝離和去除材料的通用術語,并且已經成為微加工的通用術語。以下描述Si3N4蝕刻的過程:Si3N4刻蝕半導體刻蝕工藝:在903E蝕刻機中蝕刻,引入蝕刻機的氣體是:CF4,NF3,He。氟自由基的作用是使氮化硅被腐蝕,產物是氣體,它被旋片式真空泵抽走。為了加速腐蝕速率,可以在CF4中加入少量氧氣(5%-8%),因為氧氣可以抑制反應室壁中F *的損失,并且:CF4 + O2→F * + O * + COF * + COF2 + CO + ...(電離)。 COF *具有長壽命,當它移動到晶片表面時,發生以下反應以加速腐蝕速率:COF *→F * CO(電離),但加入氧氣以腐蝕光致抗蝕劑以減少選擇性。蝕刻是微細加工技術的重要組成部分,微電子技術的快速發展推動了微加工技術的發展。通常,蝕刻技術可分為干蝕刻和濕蝕刻。初始蝕刻主要是濕法蝕刻,但是當器件制造成微米和亞微米時代時,進行濕法蝕刻。蝕刻難以滿足日益高的精度要求。干蝕刻技術取得了很大進展。干蝕刻通常通過物理和化學方面的組合去除蝕刻的膜,因此蝕刻具有各向異性,這可以從根本上改善濕法中固有的橫向底切問題。從而滿足細線蝕刻的要求。有許多常見的蝕刻方法,旋片式真空技術就是其中之一。用于半導體蝕刻工藝的旋片式真空泵具有速度快,選擇率高,各向異性高,蝕刻損傷小,大面積均勻性好,蝕刻部分輪廓可控性...
發布時間: 2019 - 08 - 08
來源: 115
真空系統在食品生產粉末管理中的應用非常重要,然后小編就會告訴你原因。在食品生產的粉塵控制方面,許多用戶首先想到它,以便員工可以在車間定期掃描。如果更多,可以使用小型真空吸塵器清潔。然而,根據調查,95%的車間粉塵濃度通過手動清潔和吸塵器不符合國家安全局的要求,甚至車間的灰塵也有爆炸的危險。食品車間使用Punoc真空系統,車間進行了清潔。合格率超過95%,因此真空系統在食品生產的粉塵控制中起著至關重要的作用。你認為食物的小塵埃還會爆炸嗎?業內專業人士也表示,粉塵不是絕對安全的,所以我們不能忽視任何一種粉塵。在破碎機,粉碎機,篩分機,干燥機,進料器和儲存箱的生產過程中發生粉塵爆炸事故。這是因為除塵設備的灰塵沉積在管道中。當受到某種沖擊時,易燃粉塵再次飛散,瞬間形成高濃度塵云,如果遇到火源,很容易爆炸。因此,食品車間的真空系統安裝不可能是機會主義。首先,在食品車間粉塵控制的前提下,需要去除火源(加工設備)和真空系統的防火防爆措施的火源。對于機械摩擦和由沖擊產生的火花,必須采取措施去除火星,以防止鐵板,螺釘等被吸入管道并引起火花引起燃燒。防止靜電火花是一個重要問題。特別是對于易燃粉塵系統,系統的集塵器,管道,風扇和其他設施應接地。它也可以用帶有鐵夾的防靜電濾布接地。其次,要始終觀察料斗內部的溫度和系統真空桶,或安裝溫度傳感器,隨時控制設備內部的溫度,以防止熱量積聚引起火災并引起爆炸。進口真空系統采用室外安裝方案。如果發現存在火災現象,當系統風扇需要關閉時,為了防止煙氣通過管道流回車間,應在防火閥后關閉風扇或關閉風量開關以防止發生事故。發生。我相信很多人都對真空系統節能,耐用,運營成本低的知識有所了解。如果您需要真空系統請聯系網站客服.
發布時間: 2019 - 08 - 07
來源: 98
用于油脂行業除臭的真空機組。在油脂除臭過程中,真空機組應保證穩定運行。雖然蒸汽噴射真空泵易于操作,但必須不斷檢查和保持動力蒸汽的壓力穩定性??諝鈮毫淠鞯呐潘疁囟扔绊懻羝麌娚浔玫墓ぷ餍省毡貦z查冷凝器排水溫度,確保供水穩定,防止冷卻水中斷。一般情況下,第一級冷凝器排水溫度應控制在20~30°C。有條件的企業可以通過排水溫度檢測傳感器自動調節動力蒸汽量,節約能源,提高經濟效益。末級噴射真空泵的排氣口優選地還配備有壓力冷凝器或有效止回閥,以避免由于動力蒸汽的突然中斷而導致的系統真空破壞。在真空機組終止前,應直接關閉蒸汽,然后關閉加熱蒸汽閥,除臭器排氣主閥,噴射泵動力蒸汽閥和氣壓冷凝器進水閥,以確保安全操作。在20世紀70年代和80年代,該過程中使用的真空設備是蒸汽噴射真空泵單元。然而,隨著國家節能減排政策的出臺,高能低效蒸汽噴射真空泵機組逐漸被羅茨液環(滑閥)取代。 )而是真空機組。根據客戶使用情況調查,羅茨液環(滑閥)真空機組可節省約75%的能耗。1、除臭油脂的方法一種除臭油脂的方法,包括蒸發器,油脂和真空塔,其特征在于,在恒溫下將油脂加熱至110(±5)攝氏度的溫度,然后在真空中通過蒸汽揮發。塔為0.2至1千帕。發出有氣味的氣體,然后使用熔融液態的活性炭過濾。 “氣味”成分控制在0.01%以下,可以在各種環境下使用。在進入除臭階段之前去除。在半連續和連續除臭過程中,油脂的脫氧可以在氣體分離器中連續進行。氣體分離器的工作壓力與除臭器的工作壓力相同,工作溫度控制在70℃以下。2、汽提脫臭汽提脫臭是油脂除臭的核心過程。汽提脫臭的操作條件直接影響除臭油的質量和經濟效益。間歇式除臭設備可以在低溫下長時間運行。每批油的裝載量不超過設備總容積的60-70%,汽提蒸汽的量為每小時30-50kg /噸油。除臭時間根據油中揮發性組分的組成確定。在約180°C的...
發布時間: 2019 - 08 - 07
來源: 1931
工廠中的真空泵會使一部分廢氣揮發。實際上,真空泵本身不會產生廢氣。從真空泵排出的廢氣主要是工作系統中使用的氣體組分。如何處理這部分廢氣簡單直接,投資小。收集和凈化放電是碳吸附?;钚蕴康奈教匦钥捎糜谖接泻Τ煞郑瑥亩_到良好的凈化空氣效果。讓我們知道進口真空泵的兩種廢氣處理方式。由真空泵產生的廢氣不是唯一的。這兩種方法用于使有機廢氣在收集后通過設備凈化,然后通過15米的煙囪排放到大氣中。1.碳吸附法:主要由活性炭層和支撐層組成?;钚蕴烤哂锌障?,比表面積大,吸附能力強。正是由于這種活性炭的特性,它被廣泛用于水的深度處理,如生活用水,后期水的深度處理(清潔水)。使用活性炭一段時間后,吸附大量吸附物,逐漸變得飽和,失去工作能力,嚴重時會滲入過濾層。因此,應進行活性炭的再生或更換。2.離子凈化方法:使用高溫發生器形成低溫等離子體,并在平均能量約為5eV的大量電子的作用下,有機廢氣分子如苯,甲苯,通過凈化器的二甲苯轉化成各種活性顆粒和空氣。 O2組合在一起產生低分子無害物質,如H2O和CO2,以凈化廢氣。在該過程中,當有機氣體進入冷離子反應室時,氣體均勻地分配到等離子體反應室(PRC)。將反應室分成149個六邊形管,每個管在中心具有冠狀線,與反應室分開。高壓管線用于引導反應室以調節高壓,并且高壓被傳導到管中的管狀線。從導線到管壁發生放電現象。一旦放電,等離子體電子與氣體分子碰撞產生化學活性核素,通常稱為自由基和載荷載體。此外,它還具有微型靜電除塵器的功能,可以去除灰塵。以上介紹了進口真空泵廢氣處理中使用的兩種方法。實際上,有很多種方法和手段,主要是真空泵廢氣的管道收集。有必要設計主管的管徑,支管的管徑等,然后采用側吸。仍然存在吸氣時收集空氣的問題,選擇風量大且風壓多大的風扇,這些都是去污效果。
發布時間: 2019 - 08 - 07
來源: 75
用于真空脫氣的旋片式真空泵可在低溫下進行,不需要消耗蒸汽,因此鍋爐蒸汽用于生產,節省了大量的能源。給水溫度范圍寬,當蒸汽量大幅波動時,不會影響脫氧。效果穩定,給水可用于提高給水溫度而無需加熱設備。一次性投資較少,日常維護較少。旋片式真空泵在真空脫氣器中的應用具有更好的脫氧效果,而且比國家標準還低得多。真空除氧器的組合是什么?真空脫氣器是一種使水在真空下沸騰并除去水中含有的氧氣,氮氣,二氧化碳和其他氣體的設備。它由氧氣脫水罐(除氧塔)和旋轉葉片真空泵組成。水箱可以設置在高位置或低位置,真空泵單元可以是蒸汽動力蒸汽噴射泵或水循環水作為工作介質的水射流泵。為什么在鍋爐給水處理過程中需要除氧?實際上,除氧是鍋爐給水處理過程中非常關鍵的部分。氧氣是供水系統和鍋爐中的主要腐蝕性物質。應快速清除給水中的氧氣。否則會腐蝕供水系統和鍋爐部件。腐蝕產物氧化鐵將進入鍋中,沉積或粘附在鍋爐管壁上并被加熱。在表面上,形成不溶且導熱性差的鐵垢,并且腐蝕導致管內壁上的凹坑,并且阻力系數增加。當管道嚴重腐蝕時,甚至可能發生管道爆炸。真空脫氧是最佳選擇。真空脫氣的工作原理是在密閉容器中,任何氣體同時存在于水面上,氣體的溶解度與其自身的分壓成正比,氣體的溶解度僅與其相關。自己的分壓。在一定壓力下,隨著水溫升高,水蒸氣的分壓增加,空氣和氧氣的分壓變得越來越小。在100℃時,氧分壓降至零,水中溶解氧也降至零。當水面上的壓力小于大氣壓時,氧氣的溶解度在較低的水溫下可以達到零。以這種方式,水表面中的氧分子被排出或轉換成其他氣體,使得氧的分壓為零,并且水中的氧連續逸出以實現除氧的效果。該氧清除方法通常在30℃至60℃的溫度下進行。它可以在低溫(60℃或常溫)下實現水的脫氣。對于熱鍋爐和負荷波動較大且熱脫氣性差的蒸汽鍋爐,可以使用旋片式真空泵來獲得令人滿意的除氧效果。與熱脫氣技術相比:它的加熱條件非常低,鍋爐房的蒸汽消耗...
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